导电图案检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。导电图案检查装置包括：施加机构，从发生断线的导电图案(110)的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与基板对置，并在横穿所述多个导电图案(110)的方向上移动；两个以上的线状电极(30)、(32)，设置在所述传感器中，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘；控制部，根据所述两个以上的线状电极(30)、(32)分别检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测形成在基板上且在第一方向上尺寸较长的导电图案的对象范围内的断线位置的导电图案检查装置。
技术介绍
目前，在平板显示器等领域中，在基板上配设有多个导电图案的电路基板被广泛使用。在该电路基板中，若导电图案中发生断线或短路，则不能发挥原本的功能。因此，在制造电路基板时，对各导电图案进行断线或短路的检查。为了容易且高精度地进行该检查，一直以来，提出了多种检查技术。例如，在专利文献1、2中公开了一种检测断线位置的技术，该技术是在判断导电图案发生断线时，检测该导电图案中何处发生断线的断线位置的技术。 具体而言，在专利文献I中公开了一种确定断线位置的技术，该技术是按顺序配设第一供电电极、检查电极、第二供电电极，并且，使这三个电极沿着发生断线的导电图案(在下文中称为“断线图案”)移动，并在此时根据由检查电极诱发的交流电压值的变化确定断线位置的技术。此外，在专利文献2中公开了一种确定断线处的技术，该技术是从断线图案的一端提供检查信号，并且，使检测电极沿断线图案移动并读取检查信号，并将检测不到读取信号的位置确定为断线位置的技术。现有技术文献(专利文献)专利文献I日本特开2008-102031号公报专利文献2日本特开2006-284597号公报
技术实现思路
然而，这样的现有技术文献1、2所记载的技术存在以下问题即虽然在所有的导电图案间隔特定的间距平行地配设的情况下是有效的，但在导电图案的配设角度适当不同的情况下难以应用。例如，在平板显示器所使用的基板中设置有实际显示可视图像的像素区域。在该像素区域中，多个导电图案间隔特定的间距平行配设。并且，在像素区域的外侧多个导电图案与驱动IC连接。其中，通常，驱动IC的端子间距比像素区域中的导电图案的配设间距要小很多。因此，为了将多个导电图案连接至驱动1C，在像素区域的外侧需要急剧缩窄导电图案的配设间距。其结果，在像素区域的外侧，多个导电图案以配设间距逐渐减小的方式倾斜地配设。从另一观点来看，在像素区域的外侧，各个导电图案以不同配设角度配设。为了使用现有技术文献1、2所记载的技术来进行在配设间距逐渐变化的区域中的断线位置的确定，需要沿该倾斜的连接部移动电极(追踪)。但是，如上所述，连接的配设角度因各导电图案而不同，存在不易追踪的问题。当然，也有存储各导电图案的配设角度，并在其存储的配设角度方向上移动电极的方法。但是，在该情况下，存在控制变得非常复杂的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。本专利技术的导电图案检查装置是在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，发生断线的导电图案中检测断线位置的导电图案检查装置，其中，包括施加机构，从所述发生断线的导电图案的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与所述基板对置，并在横穿上述所述多个导电图案的方向上移动；两个以上的线状电极，设于所述传感器上，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘，并分别与对置的导电图案静电耦合；控制部，根据所述两个以上的线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线位置。在优选方式中，所述两个以上的线状电极至少包括第一线状电极，在与第一方向正交的第二方向上延伸；第二线状电极，在相对于第一线状电极倾斜的方向上延伸；所述控制部根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第一方向 的位置，并根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻及由所述第二线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线在第二方向的位置。在这种情况下，优选的，所述两个以上的线状电极进一步包括第三线状电极，所述第三线状电极相对于第一线状电极倾斜，并在与第二线状电极极性相反地倾斜的方向上延伸，所述控制部根据由所述第一线状电极检测出的电压信号的突变时刻，以及由所述第二线状电极或第三线状电极检测出的电压信的突变时刻确定出所述断线在第二方向的位置。在这种情况下，进一步优选的，所述第二线状电极相对于第一线状电极以45度，第三线状电极相对于第一线状电极以负(-)45度分别倾斜。在其它优选方式中，在所述基板上形成有像素区域，在第一方向上间隔第一间距地配设有多个导电图案；外部区域，设置在所述像素区域的外侧，具有以导电图案间的间距逐渐变化的方式配设有所述多个导电图案的区域；各线状电极至少具有纵贯所述外部区域的长度，所述控制装置根据由线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定出在所述外部区域中的断线位置。专利技术的效果根据本专利技术，在横穿多个导电图案的方向上移动传感器时，根据两个以上的线状电极检测出的电压信号的突变时刻确定出断线位置，因此即使导电图案的配设方式不明确，也能够简易地确定出断线位置。附图说明图I为在本专利技术的实施方式中作为检查对象的基板的示意图；图2为本专利技术的实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图3为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图4为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图5为说明在本实施方式中的断线位置确定的原理的图；图6为说明在另一实施方式中的断线位置确定的原理的图；图7为说明在另一实施方式中的断线位置确定的原理的图。附图标记说明10导电图案检查装置12施加机构14 触头16交流电源18第一传感器20第二传感器22传感器驱动机构·24控制部26检测电极28放大器30第一线状电极32第二线状电极34第三线状电极110导电图案112导电垫片具体实施例方式以下，针对本专利技术的实施方式参照附图进行说明。本实施方式所涉及的导电图案检查装置10是用于检查形成在平板显示器等使用的玻璃基板上的导电图案110的优劣的检查装置，特别是成为对确定断线位置有用的结构。在对该导电图案检查装置10进行详细说明之前，对在本实施方式中作为检查对象的基板的结构进行简单说明。图I为平板显示器使用的基板的结构示意图。该基板通过在Z方向上层积第一层、第二层以及绝缘层而构成，该第一层在Y方向上配设有多个导电图案110a，该第二层在X方向上配设有导电图案IlOb,该绝缘层介于第一层与第二层之间。形成在第一层上的导电图案IlOa及形成在第二层上的导电图案IlOb(以下，在不区别两者的情况下省略附加字母，将其称为“导电图案110”)在像素区域El中，以相互交叉的方式配设。由这两层的导电图案IlOaUlOb的交点形成I个像素，由这些像素的集合构成显示可视图像的像素区域E1。在该像素区域El内，导电图案110间隔特定的第一间距平行排列。各导电图案110在像素区域El的外侧与驱动IC(未图示)连接。该驱动IC的接线端子以远比导电图案110的配设间距更小的间距排列。因此，多个导电图案11由于与驱动IC连接，在像素区域El的外侧，大幅度缩小其配设间距。其结果，在像素区域El的外侧形成有连接区域E2和中间区域E3，所述连接区域E2中多个导电图案110间隔比第一间距小的第二间距平行地排列，所述中间区域E3中导电图案之间的间距在第一间距至第二间距之间逐渐变化。在该中间区域E3中，几乎所有的导电图案110相对于X轴或Y轴倾斜地配设，相互邻近的导电图案110的配设角度不同。在各导电图案110的另一端(未与驱动IC连接的一侧的前端)设置有导电垫片112。该导电垫片112形成为比导电图案110更宽，其用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电图案检查装置，其特征在于，其在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生断线的导电图案中的断线位置，该装置包括：施加机构，从所述发生断线的导电图案的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与所述基板对置，并在横穿所述多个导电图案的方向上移动；两个以上的线状电极，设于所述传感器上，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘，并分别与对置的导电图案静电耦合；控制部，根据所述两个以上的线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：板垣卓男，须山智史，
申请(专利权)人：株式会社联箭技术，
类型：发明
国别省市：