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导电图案检查装置制造方法及图纸
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下载导电图案检查装置的技术资料
文档序号:7934987
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本发明提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。导电图案检查装置包括:施加机构,从发生断线的导电图案(110)的一端施加交流电压;传感器,经由间隙与基板对置,并在横穿所述多个导电图案(110)的方向上移动...
该专利属于株式会社联箭技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社联箭技术授权不得商用。
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