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本发明提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。两个供电电极和两个检查电极呈大致十字状配置于传感器。该传感器沿着产生有交叉短路的交叉线移动。此时，供电电极向交叉线施加交流电压。另外，检查电极与对向的栅极线静电耦...
该专利属于株式会社联箭技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社联箭技术授权不得商用。

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