【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种纳米功能材料合成设备，具体地说是控制纳米功 能材料在局域合成的微电极微加热装置。
技术介绍
纳米功能材料在新一代纳米光电子、传感、存储等器件中有非常重要 的应用。为达到器件应用的目的，首先必须实现纳米材料的可控合成，如 对纳米材料结构、形貌、取向等按器件应用要求进行控制。必须指出的是， 纳米材料定位与定向合成技术是目前的难点技术，也是纳米材料合成中的 关键技术所在。目前已经有多种低维纳米材料的合成方法，涉及许多物理、化学手段，最常用的有化学气相沉积(CVD)、金属有机化学气相沉积 (M0CVD)、分子束外延(MBE)、及高压反应釜等。但这些合成方法无一例 外，需要复杂的合成装置，反应在高温或高压下进行；而且纳米材料通常 是批量合成，欠缺对纳米线位置与取向的控制；宏观的合成手段难以控制 微观的生长条件，必然导致产物均匀性差；严苛的反应条件使得电场、磁 场等外加控制技术的引入难以实现；合成装置的庞大使得实时监控纳米材 料合成非常困难。以目前一维半导体纳米结构合成最常使用的化学气相沉积(CVD )技术 为例，公知的制备纳米半导体材料的CVD管式炉的体积...
【技术保护点】
一种微区可控纳米功能材料合成加热装置，其特征在于：包括密闭腔室，所述密闭腔室包括矩形盒体（１９）和盒盖（２０）； 所述矩形盒体（１９）相对应的两侧壁上分别设有进气接口（１）、出气接口（１１），相对应的另两侧壁上分别设有电线接口（８）；一个矩形散热基座（１４）通过四个角上的四根立柱（４）固定设于盒体（１９）内中部，散热基座（１４）中部为下凹的散热空腔（１５）；散热基座（１４）底部的盒体（１９）内设有冷却水管（１０），冷却水管（１０）的两端分别为进水口和出水口，且进水口和出水口分别伸至盒体（１９）外部；散热基座（１４）的顶面设有工作台（１３），工作台（１３）中部设有上大下小的阶...
【技术特征摘要】
1、一种微区可控纳米功能材料合成加热装置，其特征在于包括密闭腔室，所述密闭腔室包括矩形盒体(19)和盒盖(20)；所述矩形盒体(19)相对应的两侧壁上分别设有进气接口(1)、出气接口(11)，相对应的另两侧壁上分别设有电线接口(8)；一个矩形散热基座(14)通过四个角上的四根立柱(4)固定设于盒体(19)内中部，散热基座(14)中部为下凹的散热空腔(15)；散热基座(14)底部的盒体(19)内设有冷却水管(10)，冷却水管(10)的两端分别为进水口和出水口，且进水口和出水口分别伸至盒体(19)外部；散热基座(14)的顶面设有工作台(13)，工作台(13)中部设有上大下小的阶梯形孔；与两侧壁上的电线接口(8)相对应的工作台(13)两侧上部通过立柱分别固定设有接线台(9)，接线台(9)上设有接线头(18)和探针(6)，接线头(18)和探针(6)通过电线组(7)连接电线接口(8)；接线台(9)上部依次设有下平板(29)和上平板(28)，下平板(29)和上平板(28)与工作台平行，且下平板(29)和上平板(28)上分别均布有通孔；所述盒盖(20)中部设有观察窗孔(25)，观察窗孔(25)外侧面设有钢化玻璃板(24)，其内侧面设有电磁铁定位卡环(27)；观察窗孔(25)内设有电磁铁。2、 根据权利要求1所述的一种微区可控纳米功能材料合成加热装置， 其特征在于所述矩形散热基座(14)的长、宽、高分别为42毫米、42毫 米、12毫米，其材料为黄铜；其中部的散热空腔(15)的长、宽、高分别 为18毫米、18毫米、8毫米，散热空腔(15)内设有电磁铁。3、 根据权利要求1所述的一种微区可控纳米功能材料合成加热装置， 其特征在于所述冷却水管(10)为M形。4、 根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：揭建胜，胡治中，吴春艳，王莉，于永强，
申请(专利权)人：揭建胜，
类型：实用新型
国别省市：34[]
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