【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种投影光刻机的硅片台微旋转机构。
技术介绍
投影光刻机的硅片台微旋转机构所用螺纹副为一般螺纹副，精度相对较低，当采 用细牙差动螺纹副可提高硅片台旋转定位精度。以前投影光刻机的硅片台拥有的微旋转机构，校正硅片台的角度误差精度不够 高，直接影响投影光刻机的套刻精度。所以这使高精度硅片台微旋转机构显得十分必要，且 该机构可以保证光刻机长期稳定工作。
技术实现思路
为了克服因角度误差对光刻机所能实现的套刻精度的不良影响，本专利技术的目的是 提供一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，使得现场高精度硅片台微旋转调整成为可 能，提高光刻机的套刻精度，保证了投影光刻机长期稳定可靠的工作。为达到上述目的，本专利技术提供投影光刻机中的硅片台微旋转机构解决技术解决问 题所采用的技术方案包括拉簧、硅片台、基座、调节螺栓和螺纹副；硅片台位于止推轴承 上，调节螺栓被固定在基座的螺纹副内，拉簧的左端套在硅片台的弹簧拉杆上，拉簧的右端 挂在基座上，调节螺栓的前端顶在硅片台的手轮顶杆上。本专利技术的优点是，本专利技术能够对投影光刻机中的硅片台进行精确的角度调整，当 投影光刻机的硅片台...
【技术保护点】
一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，其特征在于包括：拉簧（１）、硅片台（２）、基座（４）、调节螺栓（５）和螺纹副（６）；硅片台（２）位于止推轴承（３）上，调节螺栓（５）被固定在基座（４）的螺纹副（６）内，拉簧（１）的左端套在硅片台（２）的弹簧拉杆上，拉簧（１）的右端挂在基座（４）上，调节螺栓（５）的前端顶在硅片台（２）的手轮顶杆上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡淘，胡松，邢薇，徐文祥，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90
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