温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明是一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，拉簧的左端套在硅片台上，拉簧的右端挂在基座上，硅片台始终与调节螺栓保持接触。本发明能...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。