晶片收纳盒检查装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供如下的晶片收纳盒检查装置：不用针对每个种类改变摄影条件，可以在同一条件下表示不同种类晶片收纳盒的各检查对象部位的形状等的外观属性。该晶片收纳盒检查装置具有摄影装置（６１）和处理来自摄影装置（６１）的图像信号的处理单元（５０），处理单元（５０）具有：基准图像生成单元（Ｓ１、Ｓ２），其根据来自摄影装置（６１）的与基准体（２０）对应的图像信号，生成基准图像信息；被检查图像信息生成单元（Ｓ１１），其根据来自摄影装置（６１）的与晶片收纳盒（１０）内部的检查对象部位对应的图像信号，生成被检查图像信息；图像校正单元（Ｓ１２），其对所述被检查图像信息实施用于根据所述基准图像信息得到预定图像的处理，生成校正图像信息；以及根据所述校正图像信息来生成表示所述检查对象部位的外观属性的外观属性信息的单元（Ｓ１４）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于对排列收纳半导体晶片的晶片收纳盒的内部外观进 行检查的。
技术介绍
以往，提出了在半导体晶片(以下简称为晶片)的制造工序或运送 过程中使用的晶片收纳盒的检査装置(参照专利文献1)。在该现有的晶 片收纳盒的检査装置中，利用与晶片收纳盒的前部开口面相对设置的照 相机，拍摄在该晶片收纳盒内部的侧壁上形成的晶片支承部，根据通过 该拍摄得到的图像(图像信息)生成表示该晶片支承部的形状(例如槽 部的间距等)的实际形状信息。然后，根据该实际形状信息来判定该晶 片收纳盒是否良好。专利文献1:日本特开2004-266221号公报在上述现有的晶片收纳盒检査装置中，照相机从具有深度的某个晶 片收纳盒的前部开口面侧对焦在其内部的检查对象部位并拍摄而得到图 像，根据该得到的图像来生成实际形状的信息。因此，在对检査对象部 位的位置和形状略有不同的不同种类的晶片收纳盒进行检査的情况下， 必须针对每个晶片收纳盒，对焦在其检查对象部位并利用照相机进行拍摄o为了省去这种麻烦，考虑使用焦点深度比较深的照相机。这样，能 够减少每次改变要检査的晶片收纳盒时进行对焦的麻烦。但是，在不同 种类的晶片收纳盒中，如上所述，检查对象部位的位置和形状略有不同， 有时该检査对象部位与照相机的相对位置关系不同。这种情况下，所述 检查对象部位在图像上的表现方式(大小、方向等)不同。因此，从不 同种类的晶片收纳盒得到的各检査对象部位的图像不是在相同条件下表示该检査对象部位。因此，在根据对从不同种类的晶片收纳盒得到的各 检查对象部位的图像进行表示的信息(例如浓淡信息)来判断其外观属 性(形状、沾污状态、破损状态、表面粗糙度状态等)的情况下，无法 以共同的标准进行判断。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种情况而完成的，提供如下的晶片盒检査装置及方 法能够根据所得到的图像，以共同的标准对不同种类的晶片收纳盒的 各检查对象部位的外观属性进行检查。本专利技术的晶片收纳盒检查装置构成为，该晶片收纳盒检查装置具有 摄影装置，其与设置于设置台上的晶片收纳盒的前部开口面相对，并设 置成在其视野范围内包含所述晶片收纳盒内部的检査对象部位，该摄影 装置拍摄所述视野范围并输出图像信号；以及处理单元，其处理来自所 述摄影装置的图像信号，所述处理单元具有基准图像生成单元，其根 据所述摄影装置对所述视野范围内与所述检査对象部位成预定配置关系 而设置的预定形状的基准体进行拍摄而输出的图像信号，生成基准图像 信息；被检查图像信息生成单元，其根据所述摄影装置对所述晶片收纳 盒内部的检查对象部位进行拍摄而输出的图像信号，生成被检査图像信 息；图像校正单元，其对所述被检査图像信息实施用于根据所述基准图 像信息得到所述基准体的预定平面图像的处理，生成校正图像信息以 及根据所述校正图像信息来生成表示所述检查对象部位的外观属性的外 观属性信息的单元。根据这种结构，针对拍摄晶片收纳盒的被检査部位而得到的被检査 图像信息，实施下述处理根据拍摄预定形状的基准体而得到的基准图 像信息，得到该基准体的预定平面图像，从而得到校正图像信息，所以， 校正图像信息能够在由所述预定平面图像表示基准体的条件下，表示所 述检查对象部位。而且，能够根据这种校正图像信息，得到表示对应的 检查对象部位的外观属性的外观属性信息。所述外观属性是检查对象部位的外观特征，包含形状、沾污状态、破损状态、表面粗糙度状态等。而且，外观属性信息是表示这种外观属 性的信息。并且，本专利技术的晶片收纳盒检查装置可以构成为，该晶片收纳盒检 查装置具有良否判定单元，该良否判定单元根据所述外观属性信息来判 定所述检査对象部位是否良好。根据这种结构，能够根据该良否判定结果，自动判定晶片收纳盒的 检查对象部位是否良好。并且，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，该晶片收纳盒检 査装置具有基准信息生成单元，该基准信息生成单元生成作为基准的预 定晶片收纳盒的检查对象部位的外观属性信息，作为外观属性基准信息， 所述良否判定单元根据要检查的晶片收纳盒的检査对象部位的所述外观 属性信息和所述外观属性基准信息，判定所述要检查的晶片收纳盒的所 述检查对象部位是否良好。根据这种结构，能够在与作为基准的预定晶片收纳盒的比较中，判 定要检查的晶片收纳盒的检查对象部位是否良好。进而，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，所述基准体是多 个纵线和横线正交而排列成网格状的平面结构。根据这种结构，能够对被检查图像信息实施如下处理根据基准体 的摄影图像(基准图像信息)得到该基准体的多个纵线和横线正交而排 列成网格状的面朝向正面的平面图像。并且，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，所述外观属性信 息生成单元在由所述校正图像信息表示的校正图像上设定多个区域，生 成基于该各区域内的像素值的分布状态的外观属性信息。根据这种结构，能够根据设定在校正图像上的各区域内的像素值的 分布状态，判断检查对象部位的外观。所述像素值表示构成校正图像的各像素的图像成分，可以使用亮度 值或浓度值等作为该像素值。进而，本专利技术的晶片收纳盒检查装置可以构成为，设定在所述校正 图像上的多个区域是对矩形区域进行分割而得到的多个矩形窗口。根据这种结构，能够针对每个矩形窗口对检査对象部位的外观进行 检查。并且，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，所述检査对象部 位是形成在所述晶片收纳盒的内侧壁上并具有多个搁板部的半导体晶片 支承部。根据这种结构，能够对要收纳的半导体晶片的边缘部所接触的该半 导体晶片支承部的搁板部的外观进行检查。并且，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，所述基准体是多 个纵线和横线正交而排列成网格状的平面结构，所述基准图像生成单元 根据所述摄影装置对设置成如下配置关系的所述基准体进行拍摄时从该 摄影装置输出的图像信号，生成所述基准图像信息，其中所述基准体被 设置成排列有所述多个纵线和横线的平面在所述半导体晶片支承部的 预定附近位置与其平行。根据这种结构，能够得到将正交的多个纵线和横线作为相对于所述 搁板部的基准线的基准图像信息。并且，本专利技术的晶片收纳盒检査装置可以构成为，所述外观属性信 息生成单元在由所述校正图像信息表示的校正图像上设定被分割成多个 矩形窗口的矩形区域，根据各矩形窗口的像素值的分布状态来生成所述 外观属性信息。根据这种结构，能够针对设定在校正图像上的每个矩形窗口，根据 该矩形窗口所包含的像素值的分布状态，判断检查对象部位的外观。进而，本专利技术的晶片收纳盒检查装置可以构成为，该晶片收纳盒检 査装置具有基准信息生成单元，其针对作为基准的预定晶片收纳盒的 所述半导体晶片支承部的校正图像上所设定的所述矩形区域的各矩形窗 口，生成基于像素值的分布状态的外观属性基准信息；以及良否判定单 元，其根据各矩形窗口的所述外观属性基准信息和针对要检查的晶片收 纳盒由所述外观属性信息生成单元生成的对应的矩形窗口的外观属性信 息，判定该要检查的晶片收纳盒的所述检査对象部位是否良好。根据这种结构，能够在与作为基准的预定晶片收纳盒的比较中，针对设定在校正图像上的每个矩形窗口，根据该矩形窗口所包含的像素值 的分布状态，判断要检查的晶片收纳盒的检查对象部位是否良好。并且，本专利技术的晶片收纳盒检查装置可以构成为，所述基准信息本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片收纳盒检查装置，其特征在于，该晶片收纳盒检查装置具有：　摄影装置，其与设置于设置台上的晶片收纳盒的前部开口面相对，并设置成在其视野范围内包含所述晶片收纳盒内部的检查对象部位，该摄影装置拍摄所述视野范围并输出图像信号；以及　 　处理单元，其处理来自所述摄影装置的图像信号，　所述处理单元具有：　基准图像生成单元，其根据所述摄影装置对所述视野范围内与所述检查对象部位成预定配置关系而设置的预定形状的基准体进行拍摄而输出的图像信号，生成基准图像信息；　 被检查图像信息生成单元，其根据所述摄影装置对所述晶片收纳盒内部的检查对象部位进行拍摄而输出的图像信号，生成被检查图像信息；图像校正单元，其对所述被检查图像信息实施用于根据所述基准图像信息得到所述基准体的预定平面图像的处理，生成校正图像信息；以及　外观属性信息生成单元，其根据所述校正图像信息，生成表示所述检查对象部位的外观属性的外观属性信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：林义典，森秀树，古川长树，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]