Ⅲ族氮化物半导体发光器件制造技术

技术编号:5481877 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本公开涉及一种III族氮化物半导体发光器件,所述III族氮化物半导体发光器件包括:其上形成有多个突起的衬底,所述多个突起中的每一个均具有三个锐角部分和三个钝角部分;和在所述衬底上形成的多个III族氮化物半导体层,并且所述多个III族氮化物半导体层包括通过电子和空穴的复合而发光的有源层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种III族氮化物半导体发光器件,更具体而言,涉及具有包括通过 湿法刻蚀而暴露的侧面的突起的衬底和使用该衬底的III族氮化物半导体发光器件。
技术介绍
图1是描述传统III族氮化物半导体发光器件的一个实例的视图。所述III族氮 化物半导体器件包括衬底100、在所述衬底100上生长的缓冲层200、在所述缓冲层200上 生长的η型氮化物半导体层300、在所述η型氮化物半导体层300上生长的有源层400、在 所述有源层400上生长的ρ型氮化物半导体层500、在所述ρ型氮化物半导体层500上形成 的P面电极600、在所述ρ面电极600上形成的ρ面焊盘700和在通过台面刻蚀所述ρ型氮 化物半导体层500和所述有源层400而暴露的所述η型氮化物半导体层上形成的η面电极 800。在所述衬底100的情况下,GaN衬底可用作同质衬底,而蓝宝石衬底、SiC衬底或 Si衬底可用作异质衬底。不过,可以使用在其上能够生长氮化物半导体层的任何类型的衬 底。在使用所述SiC衬底的情况中,所述η面电极800可形成在所述SiC衬底侧。在所述衬底100上外延生长的所述氮化物半导体层通常通过金属有机化学气相 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ⅲ族氮化物半导体发光器件,所述Ⅲ族氮化物半导体发光器件包括:其上形成有多个突起的衬底,所述多个突起中的每一个均具有三个锐角部分和三个钝角部分;和在所述衬底上形成的多个Ⅲ族氮化物半导体层,并且所述多个Ⅲ族氮化物半导体层包括通过电子和空穴的复合而发光的有源层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:金昌台李泰熙南起炼
申请(专利权)人:艾比维利股份有限公司
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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