一种石英晶片腐蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括：摆动机构，具有：机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有：平行滑道和滑动板，通过两机构的配合，实现驱动系统钩挂的腐蚀篮同时作上下往复运动和正反旋转运动，使腐蚀篮中的微型晶片充分浸泡在腐蚀液中，提高了石英晶片腐蚀机的工作效率，降低了石英晶片腐蚀的成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英晶片腐蚀领域，尤其涉及一种石英晶片腐蚀机。
技术介绍
石英晶体的研究开发和生产活动中，对晶片的生产加工需要一个腐蚀过 程。现有技术的腐蚀工艺为在晶片腐蚀机的机械臂上悬挂腐蚀架，该腐蚀架具 有若干蜂窝状空格，每个空格中装载一个被腐蚀的晶片，装载晶片的空格既要 使腐蚀液充分进入，又不能让晶片掉出来，因此这种腐蚀架结构比较复杂。悬 挂完毕之后晶片腐蚀机的机械臂带动腐蚀架在腐蚀液内上下往复运动，对晶片 表面进行腐蚀作业。腐蚀完成后需要将腐蚀架内的晶片连同腐蚀架一起清洗干 净，再将腐蚀架拆开，把晶片取出。因此，大量的生产实践表明现有的石英晶片腐蚀机具有以下缺点1、 生产投入大，成本高，主要表现为人力成本较高，尤其对于大规模生 产，需要安排大量员工，进行装入晶片和组合、装卸腐蚀架。2、 工人劳动强度大，生产效率低，现有的工艺过程过多的依靠工人手动 操作，自动化程度低。3、 晶片易碎易裂导致在装卸腐蚀架过程中，晶片损失大，产品成本增加。 综上可知，所述现有技术的石英晶片腐蚀机在实际使用上显然存在不便与缺陷，所以有必要加以改进。
技术实现思路
针对上述的缺陷，本技术的目的在于提供一种石英晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，其特征在于，所述每一组驱动系统包括：　摆动机构，具有　机械手，其上端设置有从动齿轮，下 端设置有挂钩，该挂钩钩挂一腐蚀篮，该腐蚀篮内任意容装若干待腐蚀石英晶片；该机械手的中部设置连杆，通过该连杆与机械臂的下端连接；　机械臂，其上端设置有旋转气缸，其下端通过所述连杆与所述机械手连接；　副机械臂，其上端通过一曲柄摇杆机 构与减速电机输出轴连接；其下端设置有主动齿轮，当所述腐蚀篮置于所述腐蚀槽中进行腐蚀时，该主动齿轮...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶竹之，
申请(专利权)人：深圳泰美克晶体技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]