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本实用新型公开了一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括：摆动机构，具有：机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有...
该专利属于深圳泰美克晶体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳泰美克晶体技术有限公司授权不得商用。

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