透明导电膜玻璃单面减薄承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，包括密封并全面覆盖平板玻璃４导电膜面并将平板玻璃４吸附住的真空吸盘１；在真空吸盘１内部设有密闭的抽气孔道１ｃ以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体１ｆ，通过抽气孔道１ｃ与真空缓冲腔体１ｆ形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘１与平板玻璃４之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中始终吸附住平板玻璃４。利用本实用新型专利技术装置承载的平板玻璃在其减薄过程中，其一面没有任何遮挡便于减薄处理而被密闭的另一面可保证透明导电膜免受化学溶液侵蚀，使透明导电膜玻璃的单面减薄过程大大简化，也降低了成本。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃加工技术，具体涉及玻璃基板加工设备，更具体地说， 涉及一种透明导电膜玻璃单面减薄用承载装置。
技术介绍
透明导电膜玻璃是制造平板显示器(FPD)的主要材料，广泛应用于液晶 显示器(LCD)、等离子显示屏(PDP)、触摸屏(TP)、有机发光显示器(OLED) 等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对FPD面板的轻薄化要求越 来越高，因而透明导电膜玻璃的减薄工艺成为了终端显示产品能否实现薄型化 的核心问题之一。所谓减薄就是用化学药液将透明导电膜玻璃基板均匀蚀刻到目标厚度，从 减薄方式来讲分单面减薄和双面减薄两种。单面减薄即对玻璃基板的其中一面 采取保护措施，对另一面进行减薄；双面减薄即对玻璃基板的两面同时进行减 薄。从减薄工艺来讲，目前流行的减薄工艺有浸泡减薄工艺和喷淋减薄工艺， 浸泡减薄工艺是把玻璃基板浸泡在化学药液中，然后辅助以鼓泡或抛动等机械 手段，其玻璃夹具通常是带有卡槽的蚀刻篮，通过将玻璃基板两端卡在相邻的 卡条间实现夹持固定(如专利CN101234853A描述)；喷淋减薄工艺是用水平 传输辊作为支撑部件，通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃板两端来实现夹持 固定，然后向其表面均匀喷射化学药液，(如专利CN1669967A描述)。浸泡 减薄工艺和喷淋减薄工艺相比，后者蚀刻速率快，药液利用率高，得到的玻璃 基板厚度均匀，表观缺陷少，因而代表了减薄工艺的主流方向。采用上述喷淋蚀刻工艺进行透明导电膜玻璃单面减薄时，其夹持治具是该 方法实施的关键。 一方面要保护镀导电膜面使其免受化学药液侵蚀；另一方面 要实现另一面没有任何遮挡物体的夹持状态以保证减薄的均匀性。现有技术的薄前在无需被蚀刻的表面涂覆掩模作为保护层， 然后通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃基板两端的输送辊实现玻璃基板的夹持以便完成减薄工艺(如专利CN1669967A描述)。现有技术的缺点如下1. 增加了保护层涂覆、烘干、去除工序，增加了原材料成本和制作工序， 增加了品质控制难度，降低了生产效率。2. 增加了涂布机、烘干机、脱膜机等相应配套设备的投资，增加了生产成本。3. 对导电膜面的保护以及对整个玻璃的夹持是通过两个相互独立的装置 来实现的，从而增加了整体制作成本。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术无法实现在固定玻璃基 板的同时实现对玻璃镀膜面的有效区域进行保护的缺陷，提供一种透明导电膜 玻璃单面减薄承载装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是构造一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，包括密封并全面覆盖平板玻璃导电膜面并将平板玻璃吸附住的真空吸盘；在真空吸盘内部设有密闭的抽气孔道以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体，通过抽气孔道与真空缓冲腔体形成的密闭腔室，在与外接 真空泵源断开情况下维持真空吸盘与平板玻璃之间的真空度在整个减薄蚀刻 流程中吸附住平板玻璃。在上述承载装置中，所述真空吸盘包括用作支撑骨架的刚性平板、分别设置在刚性平板上用于贴合平板玻璃边缘的密闭围墙以及用于控制真空吸盘抽气和/或进气操作的常闭阀门；所述抽气孔道连通密闭围墙内部区域与阀门。在上述承载装置中，所述刚性平板由两块同质平板贴合而成，其中一块平 板的一面钻有充当抽气孔道的通孔，另一面铣有充当真空缓冲腔体的多个沟 槽，所述通孔与沟槽相通。在上述承载装置中，所述真空缓冲腔体的体积与平板玻璃面积成正比，并且其比例范围优选介于200cmM000cn^至600cmM000cn^之间。在上述承载装置中，所述刚性平板上还设置有用于嵌入所述密闭围墙的环 形开口沟槽，所述环形开口沟槽的轮廓形状与密闭围墙边框轮廓形状相适，并 且二者的平面轮廓形状与平板玻璃的轮廓形状相适。在上述承载装置中，还包括固定在真空吸盘底部的传输辊，以及固定在 真空吸盘顶部的导向滑轮。在上述承载装置中，密闭围墙为弹性变形材料，并且其外轮廓尺寸比平板 玻璃大2毫米至5毫米。在上述承载装置中，所述环形开口沟槽槽宽比密闭围墙边框宽度大0.5毫米至1.5毫米，其深度比密闭围墙边框厚度小0.1毫米至0.6毫米。在上述承载装置中，所述真空吸盘至少吸住和密封所述平板玻璃导电膜面 距离边缘l毫米以内的部分。在上述承载装置中，还包括固定在真空吸盘底部的传输辊。 在上述承载装置中，还包括固定在真空吸盘顶部的导向滑轮。 实施本技术提供的承载装置，使得其真空吸盘吸附的平板玻璃，其 一面没有任何遮挡便于化学液体减薄，而另 一面的透明导电膜被完全密封而免 受化学溶液侵蚀，在保护透明导电膜前提下，用化学溶液蚀刻玻璃另一面全部 面积的制作过程被大大简化，也降低了加工成本。此外，所述刚性平板内的真 空缓冲腔体在保证刚性平板刚性支撑作用的前提下，其总体积与平板玻璃面积成正比，并且比例范围介于200cmM000cn^至600cmM000cn^之间，以保证足够的容积来维持玻璃减薄蚀刻过程中不致掉落所需的真空度，即关闭阀门、 切断真空泵源后所述真空吸盘能够保证在所有减薄蚀刻工序完成之前玻璃基 板稳定夹持在吸盘上而不致掉落，所述减薄工序整个过程所用时间至少为1 小时。更具体地说，实施本技术的承载装置，具有以下有益效果1. 在被减薄玻璃的竖直承载状态下，实现被减薄玻璃面垂直方向上无任何遮挡物；2. 竖直承载的玻璃在传送过程中不会掉落、不会倾覆，蚀刻面受较大垂 直方向的喷淋液压力时不会破损；53. 不用化学掩蔽膜覆盖需要保护的一面，而是采用可反复使用的结构件保护透明导电膜玻璃的膜面；4. 将上述承载和保护的措施集成于一套装置中。本技术的各种优点、各个方面和创新特征，以及其中所示例的实施例 的细节，将在以下的描述和附图中进行详细介绍。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中 图1为现有技术进行减薄工艺的流程图2为采用本技术的承载装置进行单面减薄的流程示意图； 图3为本技术透明导电膜玻璃单面减薄承载装置一较优实施例的结 构示意图4为图3的侧视图5为本技术提供的对透明导电膜玻璃进行单面减薄的步骤流程图； 图6为采用本技术所述承载装置的结构示意图； 图7为技术所述承载装置一实施例的示意图； 图8为技术所述承载装置另一实施例的示意图。附图标记统一说明如下l一真空吸盘；2—传输辊；3—导向滑轮；4一平板玻璃；7—喷淋设备； la—刚性平板；lb—密闭围墙；1C一抽气孔道；ld—阀门；le—开口沟槽； lf一真空缓冲腔体具体实施方式图1为现有技术进行玻璃减薄工艺的流程图。如图所示，现有技术的做法 是在玻璃基板进行化学减薄蚀刻前，在无需被蚀刻的表面涂覆掩膜做为保护 层，然后通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃基板两端的输送辊实现玻璃基板的夹持以便完成减薄处理(如专利号为CN1669967A的专利所述)，其制作工序如图l所示，该技术的不足之处在于增加了很多减薄之外的额外操作，从而导 致了成本的增加，比如增加了保护层涂覆、烘干、去除工序，增加了原材料 成本和制作工序，增加了良品率的控制难度，降低了生产效率；增加了涂布机、 烘干机、脱膜机等相应配套设备的投资，增加了生产成本。此外，现有技术无 法实现在夹持玻璃基板的同时实现对玻璃无需蚀刻的有效区域进行保护。图2为采用本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，其特征在于，所述装置包括密封并全面覆盖平板玻璃（４）导电膜面并将平板玻璃（４）吸附住的真空吸盘（１）；在真空吸盘（１）内部设有密闭的抽气孔道（１ｃ）以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体（１ｆ），通过抽气孔道（１ｃ）与真空缓冲腔体（１ｆ）形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘（１）与平板玻璃（４）之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃（４）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金弼，张莉，刘志斌，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]