【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英晶片腐蚀领域，尤其涉及一种石英晶片腐蚀机的驱动 系统。
技术介绍
石英晶体的研究开发和生产活动中，对晶片的生产加工需要一个腐蚀过 程。现有技术的腐蚀工艺为在晶片腐蚀机的机械臂上悬挂腐蚀架，该腐蚀架具 有若干蜂窝状空格，每个空格中装载一个被腐蚀的晶片，装载晶片的空格既要 使腐蚀液充分进入，又不能让晶片掉出来，因此这种腐蚀架结构比较复杂。悬 挂完毕之后晶片腐蚀机的驱动系统带动腐蚀架在腐蚀液内上下往复运动，对晶 片表面进行腐蚀作业。腐蚀完成后需要将腐蚀架内的晶片连同腐蚀架一起清洗 干净，再将腐蚀架拆开，把晶片取出。因此，大量的生产实践表明现有的石英晶片腐蚀机的驱动系统带动腐蚀架 在腐蚀液内上下往复运动，腐蚀架在腐蚀液中的运动轨迹简单，不能够充分的 使腐蚀架内的石英晶片浸泡在腐蚀液中，因此，腐蚀石英晶片的效率和质量较 低。综上可知，现有技术的石英晶片腐蚀机的驱动系统在实际使用上显然存在 不便与缺陷，所以有必要加以改进。
技术实现思路
针对上述的缺陷，本技术的目的在于提供一种石英晶片腐蚀机的驱动 系统，以使设置于石英晶片腐蚀机的腐蚀篮内的石英晶片充分与腐蚀液接触， ...
【技术保护点】
一种石英晶片腐蚀机的驱动系统，用于石英晶片腐蚀机在腐蚀槽与清洗槽中腐蚀石英晶片，其特征在于，包括： 摆动机构，具有 机械手，其上端设置有从动齿轮，下端设置有挂钩，该挂钩钩挂一腐蚀篮，该腐蚀篮内任意容装若干待腐蚀石英晶片；该机械手 的中部设置连杆，通过该连杆与机械臂的下端连接； 机械臂，其上端设置有旋转气缸，其下端通过所述连杆与所述机械手连接； 副机械臂，其上端通过一曲柄摇杆机构与减速电机输出轴连接；其下端设置有主动齿轮，当所述腐蚀篮置于所述腐蚀槽中进行腐 蚀时，该主动齿轮与所述从动齿轮啮合； 滑动机构，具有 平行滑道，该平行滑道由...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：叶竹之，
申请(专利权)人：深圳泰美克晶体技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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