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本实用新型公开了一种石英晶片腐蚀机的驱动系统，所述驱动系统包括：摆动机构，具有：机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有：平行滑道和滑动板，通过两机构的配合，实现驱动系统钩挂的腐蚀篮同时作上下往复运动和正反旋转运动，使腐蚀篮中的微型晶片充...
该专利属于深圳泰美克晶体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳泰美克晶体技术有限公司授权不得商用。

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