【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅单晶制备设备
，具体涉及一种直拉式硅单晶生长炉用导 流筒。
技术介绍
硅单晶是制造集成电路和太阳能电池的主要原料，硅单晶的生长主要利用直拉 式硅单晶生长炉，将硅多晶原材料放入坩埚中，通过加热器将硅多晶原材料熔化，然 后，通过籽晶引导、向上提拉的方法生长出理想的硅单晶。在连续向上提拉的硅单晶生 长工艺过程中，工艺气体(高纯氩气)从硅单晶生长炉顶部充入，为了保证硅单晶的稳 定快速生长和挥发物的及时排除，在坩埚上面安装有导流筒，氩气经过导流筒和保温罩 的内壁，再通过真空泵从硅单晶生长炉下部抽气口排出。但是，在硅单晶生长过程中， 硅单晶棒与导流筒下端之间形成环形的缝隙，当氩气流经导流筒下端时，根据流体力学 原理，一旦硅单晶棒与导流筒下端不同心，硅单晶棒和导流筒下端之间就会产生宽度不 均勻的缝隙，不均勻的氩气流动就会引起硅单晶棒晃动，从而影响硅单晶的正常生长。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种结构简单、使用方便的直拉式硅单晶生长炉用导流 筒，能有效改变硅单晶棒与导流筒下端之间的气体流动模型，以避免硅单晶棒的晃动， 进而提高了生产效率。本专利技术所...
【技术保护点】
一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒，其特征在于，包括导流筒本体（１），所述导流筒本体（１）为上大下小的锥形筒状结构，所述导流筒本体（１）的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽（２）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李留臣，
申请(专利权)人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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