【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石英支架,尤其是涉及一种可拆分石墨烯生长用石英支架。
技术介绍
石墨烯目前的制备方法主要有:(1)微机械剥离法。这种方法只能生产数量极少的小面积石墨烯。(2)外延法。这种方法的主要缺点是成本较高且因硅片较小的尺寸限制了其大规模应用。(3)氧化还原法。该方法制备的石墨烯缺陷较多。(4)化学气相沉积法。化学气相沉积法是将一种或多种气态物质导入进反应室中发生化学反应,并在基底沉积出薄膜。该方法能够制备大面积的高质量石墨烯,而且容易转移到各种目标基底,因此成为工业生产中的典型制备方法。在化学气相沉积法生长石墨烯的过程中,通常采用铜镍等金属作为衬底,衬底贴附于石英支架内部。以气体提供碳源,在高温炉内分解出碳原子并在金属衬底上沉积并逐渐生长成连续的石墨烯薄膜。目前生产中使用的石英支架的一般程舟状,金属衬底置于石英舟底部,然而受到设备加热空间的限制,通常制备的石墨烯薄膜面积有限。现有技术中,申请号为201110442121.8的专利“一种生长石墨烯的支架及方法”,采用卷绕石英结构突破了石墨烯生长尺寸的限制,但其加工困难,精度难以保证;而申请号为201420421678.2的专利“一种新型石英舟”提供了一种可拆装的新型石英舟,解决了现有石英舟放置在扩散炉中不稳定的问题,但石英舟两侧壁垒的阻挡作用会影响气流与金属衬底的均匀接触,同时其通过增加金属衬底的数量来扩展产能,但是单片金属衬底的尺寸也受到石英舟凹槽的限制。
技术实现思路
本技术提供了一种可拆分石墨烯生长用石英支架,解决制备石墨烯薄膜时受到石英舟舟体面积及加热空间限制,难以制得大面积石墨烯薄膜的问题。本技术技术 ...
【技术保护点】
一种可拆分石墨烯生长用石英支架,其特征在于,包括若干首尾可拆分连接的弯曲件,所述弯曲件组合时,若干弯曲件的内表面平滑连接且连接后内表面的侧向投影呈单向弯曲螺旋线。
【技术特征摘要】
1.一种可拆分石墨烯生长用石英支架,其特征在于,包括若干首尾可拆分连接的弯曲件,所述弯曲件组合时,若干弯曲件的内表面平滑连接且连接后内表面的侧向投影呈单向弯曲螺旋线。2.根据权利要求1所述的可拆分石墨烯生长用石英支架,其特征在于,所述相邻的弯曲件的连接端卡接。3.根据权利要求2所述的可拆分石墨烯生长用石英支架,其特征在于,所述相邻的弯曲件的连接端分别设有相匹配的T型槽和T型头。4.根据权利要求2所述的可拆分石墨烯生长用石英支架,其特征在于,所述相邻的弯曲件的连接端分别设有相匹配的燕尾槽和燕尾榫。5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:况亚伟,杨希峰,邵振广,刘玉申,洪学鹍,张德宝,冯金福,
申请(专利权)人:常熟理工学院,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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