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本发明公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒，包括导流筒本体，导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构，导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本发明直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单，设计合理，使用安全，能有效提高硅单晶的生长效率，可广泛...
该专利属于江苏华盛天龙光电设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏华盛天龙光电设备股份有限公司授权不得商用。

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