晶粒分拣吸笔制造技术

晶粒分拣吸笔。涉及对分拣吸笔的改进。能控制工作气流，并能符合人的操作习惯，进而使能耗降低。包括空心的笔杆、连接于笔杆尾端的气管和设置在笔杆头端的吸嘴，在笔杆杆身距离吸嘴２－４ｃｍ处设有揿按式气阀，吸嘴端面与水平面呈４５－７０°夹角。为相应节能减排的倡议，本实用新型专利技术在吸笔上设置了“开关”，用以控制工作气流的通断，在正常状态下，使吸笔处于常闭状态，此时，可降低真空机的能耗。此外，为符合操作人员持笔时笔杆与水平面呈一定角度的普遍情况，将吸嘴端面设置成斜面，从而使吸嘴能更高效率地与晶片吸合，克服了以往吸合前有较长时间“漏气”，从而提高能耗的情况。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及对分拣吸笔的改进。 技术背景微电子行业中，单个晶片上被分割成若干微小的晶粒，当良率偏低不良品离散 时，以一种有效快捷并节能的方法分选良品和不良品显得非常重要。由于单个晶粒非常 小，最小可达到38mil(mil :千分之一英寸，IOOOmil = 25.4mm)，而且晶粒极容易受周 围空气的污染，故不可以用手指头直接接触电性良好晶粒。一般是通过检测设备对不良 品进行标记，分裂后再通过人工利用吸笔分拣出不良品。目前本申请人生产线上采用自制的吸笔，是采用回收报废的圆珠笔外壳并在笔 壳的侧面靠底部位钻一个小孔，在笔壳的尾端连接真空管道。当笔壳的尖嘴部靠近或轻 压一颗微小的晶粒(例如46mil)，同时手指按住小孔。此时，笔管内的空气已被吸走从 而形成负压，即外界大气压大于管内气压。微小的晶粒会仅仅在贴在管口，从而移动晶 粒。手指松开，管内气压等于外界大气压，晶粒从笔口脱落。但是该设计在不作业的时候或者在作业的过程中，真空管道一直在吸取笔管 内的空气，从而浪费能源。回收的笔管尖嘴部位的大小相对单一，对于大晶粒(例如 140mil),吸嘴部的力度相对较小，无法实现移动晶粒的目的。此本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶粒分拣吸笔，包括空心的笔杆、连接于笔杆尾端的气管和设置在笔杆头端的吸嘴，其特征在于，在笔杆杆身距离吸嘴２－４ｃｍ处设有揿按式气阀，所述吸嘴端面与水平面呈４５－７０°夹角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛宜威，裘立强，
申请(专利权)人：扬州杰利半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32