【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种溅镀式镀膜装置。
技术介绍
溅镀是利用等离子体产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材表面堆积成膜。由于溅镀可以同时达成较佳的沉积效率、精确的成份控制、以及较低的制造成本，因此在工业上被广泛应用。溅镀式镀膜装置通常包括多个靶材及多个料杆。靶材间隔设置并围绕成一个内圆柱腔体，料杆间隔设置围绕成一个外圆柱腔体。内圆柱腔体被外圆柱腔体包围。料杆上设置有与待溅镀工件尺寸相匹配的治具。批量溅镀工件，比如批量溅镀手机外壳时，手机外壳通过与其尺寸相匹配的治具卡合而装设在料杆的四周，料杆围绕靶材公转的同时也自转以使靶材内被撞出的原子能够充分沉积在手机外壳上，从而实现镀膜均匀。然而，若要对不同尺寸的手机外壳进行镀膜，则需要模制出相应的治具，即一种镀膜装置只能对一种尺寸的手机外壳进行镀膜。因此，设计一种对不同尺寸的待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置成为当下需要解决的重要课题。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种能够对不同尺寸的待镀工件进行镀膜的溅镀式镀膜装置。一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜。该溅镀式镀膜装置包括一个中空的工...
【技术保护点】
一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜，该溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件；该工件承载组件包括多个用来固定该待镀工件且可自转的料杆；该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对，其特征在于：该料杆包括一个本体及至少一个沿该本体向外延伸的调整组件，每个调整组件包括：一个固定在该本体上的支撑杆；固设于该支撑杆且沿该支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆；可伸缩地连接于该支撑杆上且沿该支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆；及一个收容于该支撑杆内的驱动组件，用于驱动该第一螺杆及该第二螺杆伸缩并配合该第一固定杆及该第二固定杆以共同将该待镀工件抵持固定在该支撑杆上。
【技术特征摘要】
1.一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜，该溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件；该工件承载组件包括多个用来固定该待镀工件且可自转的料杆；该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对，其特征在于：该料杆包括一个本体及至少一个沿该本体向外延伸的调整组件，每个调整组件包括：一个固定在该本体上的支撑杆；固设于该支撑杆且沿该支撑杆径向延伸的第一固定杆及第二固定杆；可伸缩地连接于该支撑杆上且沿该支撑杆径向延伸的第一螺杆及第二螺杆；及一个收容于该支撑杆内的驱动组件，用于驱动该第一螺杆及该第二螺杆伸缩并配合该第一固定杆及该第二固定杆以共同将该待镀工件抵持固定在该支撑杆上。2.如权利要求1所述的溅镀式镀膜装置，其特征在于，该溅镀式镀膜装置还包括一个腔体、一个阴极、一个阳极及一个转动组件；该腔体形成有一个工作室；该阴极与该阳极相对地设置在该工作室内；该转动组件设置在该工作室内并位于该阴极与该阳极之间，该工件承载组件固设于该转动组件上。3.如权利要求2所述的溅镀式镀膜装置，其特征在于，该转动组件包括一个第一致动器及一个承载台，该第一致动器包括第一本体及沿该第一本体延伸的第一转轴，该承载台固设于该第一转轴上，该工件承载组件固设于该承载台上。4.如权利要求3所述的溅镀式镀膜装置，其特征在于，该承载台包括相对的第一面及第二面，该承载台设有贯穿该第一面及该第二面的第一通孔；该工件承载组件还包括一个环形的上载盘、一个与该上载盘相对的环形的下载盘、多个与该料杆对应的第二致动器以及多个固定杆；该上载盘面向该下载盘的表面开设有多个装设有与该料杆对应的轴承孔；该下载盘开设有多个与该第一通孔对应的第二通孔；该第二致动器包括一个第二本体及从该第二本体延伸的第二转轴，该固定杆连接该上载盘与该下载盘，该本体包括相对的第一端及第二端，该第一端可转动地安装于该轴承孔内，该第二本体固设于该第一面，该第二转轴穿过该第一通孔及该第二通孔并固接于该第二端以使该本体与该第二转轴固定连接。5.如权利要求4所述的溅镀式镀膜装置，其特征在于，该第二转轴包括一个从第二本体延伸的圆柱体部及从该圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：王仲培，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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