水平步进式溅镀设备制造技术

一种水平步进式溅镀设备，包含一个具有一个入口、一个出口、至少一个溅镀腔室与至少一个设置于所述溅镀腔室内并定义出一配置总长的阴极溅镀靶的溅镀站、一个具有一个设置于所述入口的入口阀门与一个设置于所述出口的出口阀门的阀门单元、一个与所述溅镀腔室相通的抽真空单元、至少一个具有一个位于所述溅镀腔室外的伺服马达与多数个设置于所述溅镀腔室内并被所述伺服马达驱动的输送滚轮的驱动单元，及一个与所述伺服马达电连接的控制单元，所述控制单元具有一个往复控制模式，控制所述伺服马达连续且周期性地正、逆往复运转，驱使所述输送滚轮往复转动，所述输送滚轮的往、复行程分别小于所述配置总长。因此可有效改善工件溅镀膜厚的均匀性。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种溅镀设备，特别是涉及一种水平步进式溅镀设备。
技术介绍
现有一种定点式厚膜真空溅镀设备(台湾新型专利第M346604号)，利用一个内部 传动装置配合一个感应装置让一个承载有多数个工件的工件载具在一个制程室内进行定 点溅镀作业，然而，由于所述制程室上方的多数个溅镀靶材是呈间隔设置，因此，所述工件 在定点上进行溅镀作业时，往往会因相对于所述溅镀靶材的相对位置关系，而产生膜厚不 均的问题，特别是大尺寸的工件(例如NB的外壳)其膜厚不均的问题会更明显。此外，现有一种真空溅镀设备的传动装置(台湾新型专利第M351441号)与一种 用于真空溅镀设备的传动装置(台湾新型专利第M329125号)，分别利用多数个正齿轮与多 数个螺旋齿轮来驱动带动所述工件载具的滚轮，然而，由于所述正齿轮之间或所述螺旋齿 轮之间均存在有一定的背隙(Backlash)，因此，这些传动装置只适用于单向输送所述工件 载具，且无法对所述工件载具进行精确的位置控制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可改善溅镀膜厚均勻性的水平步进式溅镀设备。本技术的水平步进式溅镀设备，包含一个溅镀站、一个阀门单元、一个抽真空 单元、至少一个驱动单元，及一个控制单元。所述溅镀站具有一个入口、一个出口、至少一个 介于所述入口、出口之间的溅镀腔室，及至少一个设置于所述溅镀腔室内的阴极溅镀靶，所 述阴极溅镀靶定义出一配置总长。所述阀门单元具有一个设置于所述入口的入口阀门，及 一个设置于所述出口的出口阀门。所述抽真空单元与所述溅镀腔室相通。所述驱动单元具 有一个位于所述溅镀腔室外的伺服马达，及多数个间隔地设置于所述溅镀腔室内并被所述 伺服马达驱动的输送滚轮。所述控制单元与所述伺服马达电连接，所述控制单元具有一个 往复控制模式，控制所述伺服马达连续且周期性地正、逆往复运转，驱使所述输送滚轮往复 转动，所述输送滚轮的往、复行程分别小于所述配置总长。本技术的有益效果在于所述控制单元的往复控制模式可控制所述伺服马达 驱使所述输送滚轮带动一工件托盘往复移动，使所述工件托盘上的工件在进行溅镀作业时 可形成均勻的溅镀膜厚。附图说明图1是本技术的水平步进式溅镀设备一较佳实施例的俯视示意图；图2是所述较佳实施例的前视示意图；图3是沿图1中III-III剖面线的剖视示意图；图4是所述较佳实施例的一个溅镀站的局部侧视示意图；图5是所述溅镀站的局部立体示意4图6是沿图4中VI-VI剖面线的剖视示意图，说明所述较佳实施例带动一个工件托盘往复移动。图中10.溅镀站；100.工件托盘；11.入口；12.出口；13.溅镀腔室；131.上溅 镀区；132.下遮蔽区；14.防着板；141.连通孔；15.阴极溅镀靶；20.载入腔；21.卸载腔; 22.搬入腔；23.搬出腔；30.阀门单元；31.入口阀门；32.出口阀门；33.前阀门；34.后 阀门；40.抽真空单元；41.第一真空泵；42.第二真空泵；43.第三真空泵；50.驱动单元； 51.伺服马达；52.输送滚轮；53.时规皮带轮；54.时规皮带；55.侧向滚轮；60.感测单元； 61.第一光发射器；62.第一光接收器；63.第二光发射器；64.第二光接收器；70.控制单 元；I.第一基准点；II.第二基准点；L.配置总长；Li.行程；L2.行程。具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术进行详细说明。有关本技术的前述及其它
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合附图所示的一 较佳实施例的详细说明中，将可清楚的明白。参阅图1、图2、图3，为本技术水平步进式溅镀设备的较佳实施例，可配合至 少一个承载多数个工件(图未示)的工件托盘100进行溅镀作业，所述水平步进式溅镀设 备包含一个溅镀站10、一个载入腔20、一个卸载腔21、一个搬入腔22、一个搬出腔23、一 个阀门单元30、一个抽真空单元40、二个驱动单元50、二个感测单元60，及一个控制单元 70。如图2、图3、图4所示，所述溅镀站10具有一个入口 11、一个出口 12、二个介于所 述入口 11、出口 12之间且彼此相通的溅镀腔室13、二块分别可拆卸地设置于所述溅镀腔室 13内的防着板(ShieldingPlate) 14，及二个分别设置于所述溅镀腔室13内的阴极溅镀靶 15。每一个阴极溅镀靶15定义出一配置总长L。在本实施例中，这两个溅镀腔室13可分 别进行不同材料(例如Cu/SUS)的溅镀作业，因为这两个溅镀腔室13结构相同，图3 图 6只表现其中一个溅镀腔室13，此外，要说明的是，每一个阴极溅镀靶15也可改由多数个小 尺寸的阴极溅镀靶来组成。在本实施例中，每一个溅镀腔室13定义出一个对应于每一个阴极溅镀靶15的后 端缘的第一基准点I，及一个对应于每一个阴极溅镀靶15的前端缘的第二基准点II。在本实施例中，每一块防着板14将每一个溅镀腔室13区分为一个上溅镀区131， 及一个下遮蔽区132，每一块防着板14具有多数个连通所述上溅镀区131与所述下遮蔽区 132的连通孔141 (见图6)。如图1、图2所示，所述载入腔20邻近于所述溅镀站10的入口 11，所述卸载腔21 邻近于所述溅镀站10的出口 12，所述搬入腔22邻近于所述载入腔20，所述搬出腔2 3邻 近于所述卸载腔21。在本实施例中，所述工件托盘100可经所述搬入腔22与所述载入腔 20输送入所述溅镀站10进行溅镀作业，再经所述卸载腔21与所述搬出腔23输送出所述溅 镀站10。要说明的是，所述载入腔20、所述卸载腔21、所述搬入腔22与所述搬出腔23内 均设置有可输送所述工件托盘100的输送机构，此部分因属于现有技术且非本技术重 点，所以不再详细地说明。如图1、图2所示，所述阀门单元30具有一个设置于所述入口 11并介于所述载入腔20与所述溅镀站10之间的入口阀门31、一个设置于所述出口 12并介于所述卸载腔21 与所述溅镀站10之间的出口阀门32、一个介于所述搬入腔22与所述载入腔20之间的前阀 门33，及一个介于所述卸载腔21与所述搬出腔23之间的后阀门34。所述入口阀门31、出 口阀门32与所述前阀门33、后阀门34可启闭所述溅镀站10、所述载入腔20与所述卸载腔 21。如图1所示，所述抽真空单元40具有一个第一真空泵41、一个第二真空泵42，及 一个第三真空泵43，所述第一真空泵41与所述溅镀站10的溅镀腔室13相通，所述第二真 空泵42、第三真空泵43分别与所述载入腔20及所述卸载腔21相通。如图4、图5所示，所述驱动单元50分别对应所述溅镀腔室13设置，每一个驱动单 元50具有一个位于每一个溅镀腔室13外的伺服马达51、多数个间隔地设置于每一个溅镀 腔室13内并被所述伺服马达51驱动的输送滚轮52、多数个分别同轴连接于所述伺服马达 51与所述输送滚轮52的时规皮带轮53、多数条连接于两两相邻的时规皮带轮53之间的时 规皮带54，及多数个间隔地设置于每一个溅镀腔室13内并位于所述输送滚轮52两侧的侧 向滚轮55。在本实施例中，所述输送滚轮52、所述时规皮带轮53与所述时规皮带54位于每一 个溅镀腔室13的下遮蔽区132，且所述输送滚轮52经所述连通孔141 (见图6)延伸入每一 个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水平步进式溅镀设备，包含一个溅镀站、一个阀门单元、一个抽真空单元、至少一个驱动单元，及一个控制单元，其特征在于：所述溅镀站，具有一个入口、一个出口、至少一个介于所述入口、出口之间的溅镀腔室，及至少一个设置于所述溅镀腔室内的阴极溅镀靶，所述阴极溅镀靶定义出一配置总长；所述阀门单元，具有一个设置于所述入口的入口阀门，及一个设置于所述出口的出口阀门；所述抽真空单元，与所述溅镀腔室相通；所述驱动单元，具有一个位于所述溅镀腔室外的伺服马达，及多数个间隔地设置于所述溅镀腔室内并被所述伺服马达驱动的输送滚轮；所述控制单元，与所述伺服马达电连接，所述控制单元具有一个往复控制模式，控制所述伺服马达连续且周期性地正、逆往复运转，驱使所述输送滚轮往复转动，所述输送滚轮的往、复行程分别小于所述配置总长。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄一原，李福元，陈绍伟，卢木森，
申请(专利权)人：凌嘉科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[]