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一种溅镀式镀膜装置，其用于对待镀工件进行镀膜。溅镀式镀膜装置包括一个中空的工件承载组件及一个靶材组件。该工件承载组件包括多个用来固定该待镀工件且可自转的料杆。该靶材组件穿过该工件承载组件并与该待镀工件相对。该料杆包括一个本体及至少一个沿该本...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。