一种多注行波管栅极的制造工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种多注行波管栅极的制作工艺，包括：钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；本发明专利技术工艺流程看似复杂，实则非常简单，其通过常规车加工工艺、钳工工艺、酸洗工艺、去油工艺及零部件尺寸及精度检测工艺，制备多注行波管栅极，其在常温常压下即可完成栅极的制备。本发明专利技术适用的工艺简单，制作成本低廉，并能够保证制备的栅极的工艺精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微波真空电子器件领域，特别涉及到一种多注行波管栅极的制造工 艺。
技术介绍
行波管是一种利用高速电子注与微波信号互作用将电子注的动能转化为微波能 量的功率放大器件。行波管的应用范围十分广阔，几乎所有的卫星通讯都使用行波管作为 末级放大器。在大多数雷达系统中都要使用一只或若干只行波管作为产生高频发射脉冲的 大功率放大器。此外，在其它设备中行波管还可以用在某些大功率放大器，如正交场放大器 的激励级。行波管按慢波结构一般分为螺旋线行波管和耦合腔行波管两大类。多注行波管是近年来发展起来的一种新型行波管，与单注行波管相比，其具有工 作电压低、体积小、重量轻、可靠性好等优点。它的作用原理是，在一个行波管的慢波系统 里使用多个电子注同时与微波信号发生互作用。每个电子注的导流系数都不大，所以可以 利用较小的聚焦磁场对这些单独的电子注进行聚焦，但是因为电子注的数量可以做的比较 多，所以总的电子注导流系数又比较大。因此，多注耦合腔行波管采用小的电压和大的电流 就能获得优良的特性。多注行波管虽然具有很多明显的优点，但其同时具有零部件加工工艺复杂、成品 率低、成本高等缺点。特别是多注栅控行波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于：包括以下工序：钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；具体为：（１）钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；（２）三氯乙烯去油工序将（１）中所得的零件毛坯用１级工业三氯乙烯，质量为０．７ＫＧ对其去油；（３）车加工工序用螺纹车床及夹具将（２）中获得的毛坯...

【技术特征摘要】
一种多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于包括以下工序钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；具体为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗3～5分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉，0.5KG硝酸，0.3KG硫酸，0.04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为1～3分钟，清洗时用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P＝300±50Kg/cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气为体积3.4立方米，时间为3～5分钟；氢气体积为19.0立方米时间为3～5分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件毛坯加工尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻头；钻定位孔，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注通道孔，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，用塞规检测孔径；将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三次零件毛坯尺寸，再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0.44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗3～5分钟，再用0.08...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴华夏，江祝苗，郑伟，张迎红，
申请(专利权)人：安徽华东光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]