【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种薄膜制造装置，适用于材料领域。
技术介绍
容器内为低压气体时，当两极间电压较高时，稀薄气体中的残余正离子在电场 中加速，有足够的动能轰击阴极，产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使 气体导电。辉光放电时，在放电管两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极 运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区。因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子 空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴 极附近的狭窄区域内。利用辉光放电的原理进行制造薄膜可以收到很好的效果。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种薄膜制造装置，解决利用辉光放电的原 理制造薄膜的问题。本技术包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电 源、容器壁。本技术中进气管管径为150 300mm，出气管管径80 150mm，真 空测量计带报警器，基片位于铜电极下方10 15cm，基片放置在基台上，基片边缘与容 器壁间隙为3 5cm，铜电极与直流电源联接。本技术工艺简单，实用性强。附图说明图1薄膜制造装置示意图附图标志1、进气管，2、出气管，3、真空测量器，4、基片，5、基台，6、 电极，7、直流电源，8、容器壁具体实施方式以下结合附图对本技术进行详细描述。图1为薄膜制造装置示意图。本实施例包括进气管1、出气管2、真空测量器3、基片4、基台5、电极6、直 流电源7、容器壁8。本实施例中进气管1管径为250cm，出气管2管径100cm，真空测 量计3带报警器，当真空达到150MPa时，报警器开始报警要减小电流电压，基片4位于 铜电极6下方12cm...
【技术保护点】
一种薄膜制造装置，其特征是包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电源、容器壁，进气管管径为１５０～３００ｍｍ，出气管管径８０～１５０ｍｍ，真空测量计带报警器，基片位于铜电极下方１０～１５ｃｍ，基片放置在基台上，基片边缘与容器壁间隙为３～５ｃｍ，铜电极与直流电源联接。
【技术特征摘要】
1. 一种薄膜制造装置，其特征是包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、 电极、直流电源、容器壁，进气管管径为150 300mm，出气管管径8...
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