利用合金催化剂制造石墨烯的方法技术

本发明专利技术提供一种利用合金催化剂制造石墨烯的方法，该方法可以包括在衬底上形成包括镍的合金催化剂层以及通过将碳氢气体提供到合金催化剂层上来形成石墨烯层。合金催化剂层可以包括从由镍、铜、铂、铁和金构成的组中选出的至少两种。当制造石墨烯时，减少碳在Ｎｉ中的溶解性的催化剂金属可以在合金催化剂层中与Ｎｉ一起使用。可以调整碳被溶解的量，并且可以制造均匀的石墨烯单层。

【技术实现步骤摘要】

示例性实施例涉及使用合金催化剂层制造石墨烯的方法。
技术介绍
石墨烯是碳的单层结构，其中碳原子位于化学稳定的六角形(蜂巢)晶格中。石 墨烯的电学特性是半金属的，因为其导带和价带仅在狄拉克点重叠。石墨烯的电子输运机 理是弹道式的，电子的有效质量为零。因而，石墨烯可以用作具有很高的电子迁移率的沟道 以制造场效应晶体管。108A/cm2的电流密度可以在石墨烯中流动，其是铜(Cu)的最大电流 密度的100倍。由于单层的石墨烯具有约2%的可见光吸收水平，所以石墨烯层是透明的。 此外，鉴于其约IPa的杨氏模量，石墨烯被认为是刚性的材料。由于石墨烯的以上物理、光学和机械特性，石墨烯可以应用于各个领域。为了广泛 地使用石墨烯，要求一种具有低和/或减少数目的缺陷的大面积石墨烯单层的简单制造工 艺。近来，石墨烯已经通过利用化学气相沉积(CVD)方法在诸如镍(Ni)、铜(Cu)或钼 (Pt)的催化金属上沉积石墨烯层而制造。然而，在此方法中，石墨烯和石墨在制造工艺期间 混合，难以合成均勻的石墨烯单层。
技术实现思路
示例性实施例包括利用合金催化剂制造大面积石墨烯单层的方法。根据示例性实施例，一种利用合金催化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造石墨烯的方法，该方法包括：在衬底上形成合金催化剂层；以及在所述合金催化剂层上形成石墨烯层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：禹轮成，戴维徐，徐顺爱，郑现钟，姜世拉，许镇盛，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]