一种磁控溅射设备的运载小车制造技术

技术编号:5007102 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池生产中溅镀背电极时,在磁控溅射设备中对电池的运载装置,具体的说是能稳定、快速运输太阳能电池的运载小车。该装置包括运载小车主体、固定齿条、运转轴承、电池挂片箱,所述的固定齿条设置在运载小车主体的上面中间位置,多个运转轴承均布设置在运载小车主体的两侧,电池挂片箱设置在运载小车主体的下面。本实用新型专利技术具有结构简单合理、使用方便、能够稳定运输电池片、进而保证溅镀均匀性等优点。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种太阳能电池生产中溅镀背电极时,在磁控溅射设备中对电池的运载装置,具体的说是能稳定、快速运输太阳能电池的运载小车。
技术介绍
在现有的太阳能电池生产中,磁控溅射设备对太阳能电池进行背电极Al层的溅 镀,溅镀的过程为运载小车运载太阳能电池到各个仓室,然后磁控溅射设备为电池溅镀Al 层,由于运载小车的稳定性在很大程度上决定了溅镀的均匀性,进而影响太阳能电池的转 换效率,而现有运载小车上的挂片装置,对电池片的稳定性无法保证,所以需要寻找一种稳 定运输电池的运载小车。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种在磁控溅射设备中,稳定运输电池片、进而保证 溅镀均匀性的运载小车。 本技术的目的是这样实现的该装置包括运载小车主体、固定齿条、运转轴 承、电池挂片箱,所述的固定齿条设置在运载小车主体的上面中间位置,多个运转轴承均布 设置在运载小车主体的两侧,电池挂片箱设置在运载小车主体的下面。 所述的运载小车主体通过固定齿条倒挂在导轨上,并通过运转轴承在导轨上运 动。 所述的电池挂片箱的箱体尺寸和太阳能电池片尺寸吻合,太阳能电池片被放置在 箱体内部后,可被稳定的固定在箱体内部。 所述的运载轴承本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射设备的运载小车,其特征在于:该装置包括运载小车主体(1)、固定齿条(2)、运转轴承(3)、电池挂片箱(4),所述的固定齿条(2)设置在运载小车主体(1)的上面中间位置,多个运转轴承(3)均布设置在运载小车主体(1)的两侧,电池挂片箱(4)设置在运载小车主体(1)的下面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨继泽刘万学张兵王巍程明辉赵松雪李宇魏含芳
申请(专利权)人:吉林庆达新能源电力股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:22[中国|吉林]

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