下载一种磁控溅射设备的运载小车的技术资料

文档序号:5007102

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本实用新型涉及一种太阳能电池生产中溅镀背电极时,在磁控溅射设备中对电池的运载装置,具体的说是能稳定、快速运输太阳能电池的运载小车。该装置包括运载小车主体、固定齿条、运转轴承、电池挂片箱,所述的固定齿条设置在运载小车主体的上面中间位置,多个运...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

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