一种单晶炉冷却系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉冷却系统，包括水套、水管，所述水套安装在单晶炉坩埚杆的下端外表面，所述水管穿入单晶炉坩埚杆的中心轴向空腔，所述水管通过锁紧件与单晶炉坩埚杆固定连接，所述水管顶端沿径向向外至少有两个对称的翻边；为保证单晶炉在工作时水管随着坩埚杆稳定的升降与旋转，所述翻边的端部与单晶炉坩埚杆中心轴向空腔的内壁相接触。本实用新型专利技术能够均匀冷却单晶炉，保证单晶炉工作安全，不会出现单晶炉局部受热严重而被烧坏的情况。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种冷却系统，尤其涉及一种单晶炉冷却系统。
技术介绍
冷却系统对于单晶炉来说是较重要的一个部分，如果冷却效果不好或冷却不均容 易造成单晶炉在工作时局部受热严重而影响单晶体的提拉效果，严重时甚至烧坏单晶炉。 目前常用的单晶炉冷却系统由水套与水管构成，其安装在坩埚杆下方，而水管一般安插在 坩埚杆的轴向空腔中，其上端部与坩埚杆空腔顶部直接接触或不接触。该种结构的冷却系 统容易造成水管随着坩埚杆升降和旋转的过程中不稳定，甚至出现倾斜，则从水管中流出 的冷却水在水管外壁与坩埚杆空腔壁之间流动，存在单晶炉冷却不均的风险。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种单晶炉冷却系统，该冷却系统使得单晶炉在工作时冷却均匀，不会出现单晶炉被烧坏的情况。 本技术为实现上述目的所采用的技术方案为 —种单晶炉冷却系统，包括水套、水管，所述水套安装在单晶炉坩埚杆的下端外表 面，所述水管穿入单晶炉坩埚杆的中心轴向空腔，其特征在于所述水管通过锁紧件与单晶 炉坩埚杆固定连接，所述水管顶端沿径向向外至少有两个对称的翻边；为保证单晶炉在工作时水管随着坩埚杆稳定的升降与旋转，所述翻边的端部与单晶炉坩埚杆中心轴向空腔的 内壁相接触。 所述的相邻翻边之间有间隙。 为防止锁紧件松落，在锁紧件下方设置一锁母，所述锁母与水管螺纹连接。 所述锁紧件为螺母。 所述水管的下端入口位于水套的冷却水流入箱内。 该冷却系统的水套有冷却水进、出口 ，冷却水流入、流出箱，冷却水进口与冷却水流入箱相通，冷却水流出箱与冷却水出口相通。冷却水从进口进入冷却水流入箱，从水管的下端入口进入水管，从水管顶端翻边之间的间隙流入水管与单晶炉坩埚杆轴向空腔内壁之间的腔体，最终流入冷却水流出箱，从冷却水出口流出，从而冷却单晶炉。 本技术的一种单晶炉冷却系统，该系统能够均匀冷却单晶炉，保证单晶炉工作安全，不会出现单晶炉局部受热严重而被烧坏的情况。附图说明图1为本技术安装在单晶炉的结构示意图。 图2为水管的俯视结构示意图。 图中1-水套，1-1-冷却水进口 ， 1-2-冷却水出口 ， 1-3-冷却水流入箱，1-4-冷却 水流出箱，2-水管，2-1-翻边，2-2-间隙，3-坩埚杆，3-1-轴向空腔，4-螺母，5-锁母。具体实施方式以下结合附图与实施例对本技术做进一步说明。 如图1、图2所示，一种单晶炉冷却系统，包括水套1、水管2。 水套1安装在单晶炉坩埚杆3的下端外表面，水管2穿入单晶炉坩埚杆3的中心 轴向空腔3-l，且通过螺母4与坩埚杆3固定连接，在螺母4下方有一与水管2螺纹连接的 锁母5 ;水管2顶端沿径向向外有两个对称的翻边2-l，翻边2-1的端部与坩埚杆中心轴向 空腔3-l的内壁相接触。 水套1有冷却水进、出口 l-l、l-2，冷却水进口 1-1与冷却水流入箱l-3相通，冷却 水出口 1-2与冷却水流出箱1-4与相通。 工作时冷却水从冷却水进口 1-1进入冷却水流入箱l-3，从水管2的下端入口进 入水管2，从水管2顶端翻边2-1之间的间隙2-2流入水管2与坩埚杆3轴向空腔3_1内壁 之间的腔体，最终流入冷却水流出箱1-4，即从冷却水出口 1-2流出，从而冷却单晶炉。 本技术在单晶炉中工作稳定，均匀冷却单晶炉，保证单晶炉工作安全，消除了 单晶炉局部受热严重而烧坏的隐患。权利要求一种单晶炉冷却系统，包括水套、水管，所述水套安装在单晶炉坩埚杆的下端外表面，所述水管穿入单晶炉坩埚杆的中心轴向空腔，其特征在于所述水管通过锁紧件与单晶炉坩埚杆固定连接，所述水管顶端沿径向向外至少有两个对称的翻边；所述翻边的端部与单晶炉坩埚杆中心轴向空腔的内壁相接触。2. 根据权利要求l所述的单晶炉冷却系统，其特征在于所述的相邻翻边之间有间隙。3. 根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统，其特征在于在所述锁紧件下方设置一锁 母，所述锁母与水管螺纹连接。4. 根据权利要求1或3所述的单晶炉冷却系统，其特征在于所述锁紧件为螺母。5. 根据权利要求1所述的单晶炉冷却系统，其特征在于所述水管的下端入口位于水 套的冷却水流入箱内。专利摘要本技术涉及一种单晶炉冷却系统，包括水套、水管，所述水套安装在单晶炉坩埚杆的下端外表面，所述水管穿入单晶炉坩埚杆的中心轴向空腔，所述水管通过锁紧件与单晶炉坩埚杆固定连接，所述水管顶端沿径向向外至少有两个对称的翻边；为保证单晶炉在工作时水管随着坩埚杆稳定的升降与旋转，所述翻边的端部与单晶炉坩埚杆中心轴向空腔的内壁相接触。本技术能够均匀冷却单晶炉，保证单晶炉工作安全，不会出现单晶炉局部受热严重而被烧坏的情况。文档编号C30B35/00GK201459281SQ20092004775公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月22日 优先权日2009年7月22日专利技术者尤志锋, 张升平 申请人:常州市祺科机械制造有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉冷却系统，包括水套、水管，所述水套安装在单晶炉坩埚杆的下端外表面，所述水管穿入单晶炉坩埚杆的中心轴向空腔，其特征在于：所述水管通过锁紧件与单晶炉坩埚杆固定连接，所述水管顶端沿径向向外至少有两个对称的翻边；所述翻边的端部与单晶炉坩埚杆中心轴向空腔的内壁相接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张升平，尤志锋，
申请(专利权)人：常州市祺科机械制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]