【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉传动部件。
技术介绍
单晶炉是单晶体的生长设备，其最重要的部分即是机械传动部分。目前较常用的 则是提拉法单晶炉，对于其传动部分中坩埚杆的旋转的稳定性、精度要求较高，而单晶体被 提拉的过程中会产生一些氧化物或杂质，这些氧化物、杂质如不进行清理，或者采取某种措 施，很容易堵塞坩埚杆与其外围配合件之间的缝隙，甚至进入坩埚杆的主要传动配件如轴 承的缝隙，从而影响坩埚杆的旋转精度。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种单晶炉传动部件，可以盛接氧化物、杂质， 避免杂质对坩埚杆的转动造成影响，且安装拆卸方便。 本技术为实现上述目的所采用的技术方案为 —种单晶炉传动部件，包括导轨、滑座、坩埚杆、坩埚杆支撑件、波纹管，所述滑座 安装在导轨上，所述坩埚杆支撑件与滑座固定连接，且套装固定在坩埚杆的外圆周表面，所 述波纹管底端与坩埚杆支撑件相连接，所述坩埚杆穿过波纹管内腔；还包括一敞口渣斗箱， 所述坩埚杆纵向穿过渣斗箱，所述渣斗箱置于坩埚杆的阶梯面上。 为使得渣斗箱定位可靠，所述渣斗箱位于坩埚杆与波纹管径向之间，且其上表面 顶在波纹管的内壁凸沿上。 上述传动部件的坩埚杆在不同驱动装置作用下可同时进行绕轴线转动和上下移 动，其带动渣斗箱一起旋转和移动，则单晶体在被提拉过程中产生的一些氧化物或杂质，掉 进渣斗箱，且渣斗箱可做定期清理，以免杂质影响坩埚杆的旋转精度。坩埚杆支撑件包括一 压圈、支撑套，压圈与支撑套通过连接件固定连接，压圈内壁的凸环与波纹管底端外壁的凸 缘相扣，波纹管底面与支撑套上表面接触，在坩埚杆上下移动的过程中，波纹管被压縮或拉 伸。 本技术的一种...
【技术保护点】
一种单晶炉传动部件，包括导轨、滑座、坩埚杆、坩埚杆支撑件、波纹管，所述滑座安装在导轨上，所述坩埚杆支撑件与滑座固定连接，且套装固定在坩埚杆的外圆周表面，所述波纹管底端与坩埚杆支撑件相连接，所述坩埚杆穿过波纹管内腔，其特征在于：还包括一敞口渣斗箱，所述坩埚杆纵向穿过渣斗箱，所述渣斗箱置于坩埚杆的阶梯面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张升平，尤志锋，
申请(专利权)人：常州市祺科机械制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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