【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生产线设备控制的
，特别是涉及一种生产线设备的加热控制方法及一种生产线设备的加热控制装置。
技术介绍
生产线设备是现代生活中完成各类产品生产、制造或工艺过程不可缺少的硬件设备，为尽可能降低成本及提高效率，对于生产线设备一般均配置有相应的控制系统以控制生产线设备的运行。在控制生产线设备完成各类产品生产、制造或工艺的过程中，通常需要对温度进行控制。 以目前制备晶硅太阳能电池多采用的PECVD设备(等离子增强化学气相沉积设备)为例，PECVD设备中一般设有预热腔，预热腔的功能主要是预真空和加热，其内部设有加热单元，用于对基片进行加热，使基片的温度在较短的时间内达到工艺所需的温度。为使基片的温度得到保持，对承载基片的载板也需要一并加热并达到相同的温度。 目前常用的加热单元大多是基于弧光放电原理实现的，较为典型的一种加热单元为红外灯管。以下以红外灯管为例，简单介绍弧光放电加热单元的工作原理。红外灯管在通电后能产生一定波长的红外线辐射能量，具有高强度、高热效、高穿透性、低能耗的特点，它比传统的加热方式(如普通电热管加热、燃油加热、燃气加热等)具有加热效率...
【技术保护点】
一种生产线设备的加热控制方法，其特征在于，包括： 获取腔室内的压力值； 若所述腔室内压力值在预置压力值的范围内，则启动加热操作。
【技术特征摘要】
一种生产线设备的加热控制方法，其特征在于，包括获取腔室内的压力值；若所述腔室内压力值在预置压力值的范围内，则启动加热操作。2. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取腔室内压力值的步骤之前，还包括 按照预设的抽真空时间对腔室执行抽气操作。3. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的方法还包括 对腔室执行抽气操作； 所述获取腔室内压力值的步骤包括 实时检测腔室内的压力值。4. 如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述预置压力值的范围包括下限值和上 限值，所述的方法还包括若所述腔室内压力值低于下限值，则执行一定时间的充气操作后，返回所述获取腔室 内压力值的步骤；若所述腔室内压力值高于上限值，则继续执行一定时间的抽气操作后，返回所述获取 腔室内压力值的步骤。5. 如权利要求2所述的方法，其特征在于，通过以下步骤按照预设的抽真空时间对腔 室执行抽气操作真空泵开启； 腔室的充气阀关闭； 腔室的抽气阀打开； 进行预设时间的抽气操作。6. 如权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述腔室内压力值低于下限值时，通过以 下步骤执行一定时间的充气操作腔室的充气阀打开； 腔室的抽气阀关闭； 进行一定时间的充气操作；在所述腔室内压力值高于上限值时，通过以下步骤继续执行一定时间的抽气操作 在所述真空泵开启，腔室的充气阀关闭，以及，腔室的抽气阀打开的状态下，继续进行 一定时间的抽气操作。7. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，在启动加热操作后，还包括 若腔室的充气阀打开则关闭充气阀； 若腔室的抽气阀打开则关闭抽气阀。8. 如权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括 等待加热温度达到预设值后，结束当前腔室的加热操作。9. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述生产线设备为PECVD设备，所述腔室 为预热腔，所述等待的一定时间为O. l秒，所述压力参数范围在100V供电时的下限值为 100pa，上限值为1000pa ;或者，所述压力参数范围在220V供电时的下限值为200pa，上限值 为1000pa ;或者，所述压力参数范围在380V供电时的下限值为500pa，上限值为1000pa。10. —种生产线设备的加热控制装置，其特征在于，包括压力值检测单元，用于获取腔室内的压力值；压力值判断单元，用于判断所述腔室内压力值是否在预置压力值的范围内，若是，则触发加热启动单元；加热启动单元，用于启动加热操作。11. 如权利要求10所述的装置，其特征在于，还包括第一抽真空单元，用于按照预设的抽真空时间对腔室执行抽气操作后，触发压力值检测单元。12. 如权利要求10所述的装置，其特征在于，还包括第二抽真空单元，用于对腔室执行抽气操作；所述压力值检测单元包括压力感知子单元，用于实时检测腔室内的压力值。13. 如权利要求11或12所述的装置，其特征在于，所述预置压力值的范围包括下限值和上限值，所述的装置还包括充气单元，用于在所述腔室内压力值低于下限值时，执行一定时间的充气操作后，返回压力值检测单元；抽气单元，...
【专利技术属性】
技术研发人员：付金生，杨洋，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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