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本发明公开了一种生产线设备的加热控制方法，包括：获取腔室内的压力值；若所述腔室内压力值在预置压力值的范围内，则启动加热操作。本发明可以在不额外增加硬件的基础上，消除加热单元启动时的打火现象，从而降低成本，提高生产线设备的易用能力。...
该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。

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