微机电系统开关技术方案

本发明专利技术提出了一种具有电路径的微机电系统开关。该开关包括第一部分和第二部分。在开关处于打开位置（或处于闭合位置，取决于开关架构）时，第二部分相对于第一部分而偏移至零重叠位置。该开关还包括用于移动第一部分和第二部分使其接触的致动器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术通常涉及一种开关，尤其是涉及微机电系统开关。
技术介绍
已经发现使用微机电系统(MEMS)开关比传统的固态开关更具优势。例如，已经发 现MEMS开关具有高功效、低插入损耗以及优良的电绝缘性。MEMS开关是使用机械运动以实现电路中的短路(连接)或开路(断开)的装置。 可使用诸如静电的、磁的、压电的或热的致动等各种类型的致动机构来获得机械运动所需 的力。静电致动的开关已被证明具有高可靠性和晶片规模的制造技术。这种MEMS开关的 构造和设计已在不断地改进。诸如关态电压(开关的触点之间)和吸合电压(致动器和触点之间)的开关特征 在MEMS开关的设计中被考虑。典型地，在努力获得更高的关态电压时，出现吸合电压降低 的矛盾的特性。传统上，增加梁厚度和间隙尺寸能提高关态电压。然而，这也增加了吸合电 压且这是不期望的。存在着对改进的MEMS开关的需求，该MEMS开关具有相当高的关态电压并同时具 有相当低的吸合电压，且不需要开关设计的额外复杂性。
技术实现思路
简单来说，提出了一种具有电路径的微机电系统开关。该开关包括第一部分和第 二部分。当开关处于打开位置(或处于闭合位置，取决于开关架构)时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统开关，包括：电路径，包括第一部分和第二部分，其中，所述第二部分相对于所述第一部分而偏移至零重叠位置；致动器，用于移动所述第一部分和所述第二部分使其接触。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王雪峰，AD科温，B李，K苏拉马尼安，KVSR基肖尔，
申请(专利权)人：通用电气公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]