【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种悬臂梁开关，特别涉及一种利用浮栅电极的双稳 态微纳悬臂梁开关。
技术介绍
微/纳电子机械系统(MEMS/NEMS)通常是一个包含有动能、弹性 形变能、静电能或者静磁能等多个能量域的复杂系统，就大多数而言， 其也可简单地理解为在衬底上利用微加工技术制造出的三维微结构 或微系统。微型构件悬臂梁是MEMS/NEMS器件中最基本的单元器件之MEMS/NEMS开关因其体积小，接触电阻小等优点在二十世纪九十 年代以后得到了巨大发展。1995年出现了采用表面微机械加工技术 制作的悬臂梁开关。通常情况下，微纳悬臂梁开关最简单、最常用的 控制方式为静电力控制，在结构上采用两块分开一定距离的极板，当 施加电压时，极板在电场力的作用下发生变形，实现开关的闭合。但 是该开关存在一个重要缺点，就是撤去电压时，无法维持其双稳状态， 这一缺点已经大大限制了微纳开关的应用范围。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种利用 浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，撤去电压时能保持双稳状态，具 有微型化、成本低、隔离性能好、静态功耗低的优点。为了达到上述目...
【技术保护点】
一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底（１），其特征在于，在衬底（１）上有一个呈反“Ｚ”型的悬梁臂（２），悬梁臂（２）的一端设置有接触点（３），接触点（３）的下方是信号线（４），在悬梁臂（２）与衬底（１）之间设置有下控制电极（５）。
【技术特征摘要】
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