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一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底１，在衬底１上有一个呈反“Ｚ”型的悬梁臂２，悬梁臂２的一端设置有接触点３，接触点３的下方是信号线４，在悬梁臂２与衬底１之间设置有下控制电极５，通过控制电压的设置，对下控制电极５中的浮栅８进行电...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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