【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种触点开关器和具有触点开关器的装置,特别是适合用在作为高频信号的开关元件而使用的微型继电器中的触点开关器和具有触点开关器的装置。
技术介绍
过去,已知在专利文献1中记载有作为触点开关器的一种形式的静电微型继电器。图8A、图8B表示根据该现有技术的静电微型继电器。另外,图8A表示静电微型继电器的立体图,图8B表示沿着b-b线的剖视图。如图8A所示,静电微型继电器,主要由以玻璃基板和绝缘基板形成的固定基板201、和以硅(Si)等半导体形成的可动基板202构成。在一方的固定基板201上,主要设有由绝缘膜203被覆着的固定电极204、和构成高频信号通路的两根信号线205。这些信号线205相隔规定的间隔而设置,利用这些信号线205的端部而构成一组固定触点206。另一方的可动基板202,以与固定基板201对向的方式、经由结合在该固定基板201上的固定件(anchor)207而被固定。并且,在可动基板202上,在与固定电极204对向的位置上设置有可动电极208,同时,在与固定触点206对向的位置上设置有与可动电极208电绝缘的可动触点209。而且,在固定件2 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种触点开关器,其特征在于,具有配置在基板上的第一触点;与上述第一触点进行闭合和分离的第二触点;通过上述第一触点和上述第二触点的上述闭合而导通的、配置在上述基板上的相互绝缘的信号线,上述第一触点的膜厚比上述信号线的膜厚小。2.如权利要求1所述的触点开关器,其特征在于,上述第一触点由第一导电层构成,上述信号线是将上述第一导电层、和可与上述第一导电层导通的第二导电层顺序层叠而构成。3.如权利要求2所述的触点开关器,其特征在于,上述第一导电层和上述第二导电层是由不同的材料构成。4.如权利要求1所述的触点开关器,其特征在于,上述第一触点的膜厚和上述第二触点的膜厚的和为与通过上述信号线的电信号的频率相关的表皮深度以上。5.如权利要求4所述的触点开关器,其特征在于,上述第一触点的膜厚未达到与通过上述信号线的电信...
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