一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器制造技术

一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，属于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）中使用的静电继电器。该静电微继电器的双稳态全柔性梁采用二个柔性梁，一个左柔性梁的一端固定于左绝缘锚点上，另一端固定在构件上，另一个右柔性梁的一端固定于右绝缘锚点上，另一端也固定在构件上；在电压激励下，可动梳齿带动双稳态全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到第二稳态位置，可动触点与固定于下绝缘锚点上的左固定触点和右固定触点形成桥接，接通电路，在施加异向驱动电压时，继电器迅速跳转返回第一稳态位置。该静电微继电器采用双稳态柔性机构来代替传统的线弹性结构以提高响应速度和稳态保持能力，具有机构简单、短程驱动、能耗低和抗干扰能力强的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，属于微电子机械系统(MEMS)中使用的静电继电器，主要应用于通信工程、信息处理、工业控制以及仪器仪表等系 统。
技术介绍
基于微机械系统(MEMS)技术的微机电式继电器通过金属电极的吸合与断开实现 电路的开关切换，具有尺寸小、质量小、易于集成、宽带宽、响应快、功耗低、适于大批量生产 等优点，在通讯、宇航、自动检测仪器等系统中具有广泛需求。近年来，很多单位和研究机构致力于微继电器结构和驱动形式的研究，包括静电 型、热驱动型、电磁型、水银滴型等。由于静电驱动具有结构简单、工艺兼容性好的优点，其 研究也最为广泛。其中基于线弹性元件的静电型微继电器利用静电吸合力使悬臂梁式的活 动电极弯曲，双接触电极与固定电极接触完成开关动作，具有结构简单，工艺容易实现。但 是，由于采用线弹性元件，继电器需要一直供能才能保持闭合状态，存在接触力小、能耗高 和抗干扰能力弱的问题。热机械型微继电器采用热致动器，由水平接触电极，加热器、触点和温度补偿结构 组成，结构较为复杂，它依靠梁结构的热变形来使触点接触，电路闭合。由于采用热驱动变 形，这就容易造成微系统中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，它主要包括可动梳齿（２）和固定梳齿（４）、可动触点（５）和固定触点；其特征在于：它还包括双稳态全柔性梁，所述可动梳齿（２）和可动触点（５）采用构件（２ａ）连接成一体，所述双稳态全柔性梁采用二个柔性梁，一个左柔性梁（１ａ）的一端固定于左绝缘锚点（３ａ）上，另一端固定在构件（２ａ）上，另一个右柔性梁（１ｂ）的一端固定于右绝缘锚点（３ｂ）上，另一端也固定在构件（２ａ）上；在电压激励下，可动梳齿（２）带动双稳态全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到第二稳态位置，可动触点（５）与固定于下绝缘锚点（３ｃ）上的左固定触点（６ａ）和右固定触点（６ｂ）形成桥接，接通电路，在施加...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵剑，刘蓬勃，常颖，唐祯安，胡平，陈广义，韩小强，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]