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一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器，属于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）中使用的静电继电器。该静电微继电器的双稳态全柔性梁采用二个柔性梁，一个左柔性梁的一端固定于左绝缘锚点上，另一端固定在构件上，另一个右柔性梁的一端固定于右绝缘锚点上，另一端也...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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