弹簧结构及使用该弹簧的促动器制造技术

本发明专利技术提供一种弹簧结构，能够缩短成对的作用点彼此之间的距离，能够增大作用点的驱动力，且能通过一个部件制作。动作部件（６３）通过第一支承轴（６５）转动自如地支承中央附近。在动作部件（６３）的左右两侧，隔着支承轴（６５）在两侧分别配置有连动部件（６４ａ、６４ｂ）。连动部件（６４ａ、６４ｂ）通过第二支承轴（６９）转动自如地被支承，另外，与动作部件（６３）转动自如地连结。支承轴（６９）比动作部件（６３）与动作部件（６４ａ、６４ｂ）的连结部位更接近于支承轴（６５），且在比支承轴（６９）更接近支承轴（６５）的部位确定作用点部分（７０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及弹簧结构及使用该弹簧的促动器。具体而言，涉及制成板簧状的弹簧 的结构和使用了该弹簧的继电器及反射镜器件等的促动器。
技术介绍
使用了板簧的小型促动器，尤其是作为MEMS (Micro-ElectroMechanical System) 元件，迄今为止提案有有各种各样的结构。(专利文献1)例如，在专利文献1记载的MEMS元件中，在基板上配置使端部彼此之间相对的两 根信号线，以隔着两信号线的方式在信号线的两侧设置固定电极。另外，在基板的上方，以 和各固定电极相对的方式使驱动电极相对，设置于两驱动电极间的触点部(触点开闭部) 相对于两信号线的各自的端部(触点对)自由地接触、离开。驱动电极及触点部通过弹簧 弹性地支承于基板的上方。在该MEMS元件中，在使信号线间闭合并通电的情况下，使驱动电极与固定电极之 间产生静电引力，从而使驱动电极吸附于固定电极，由此，使触点部与两信号线各自的端部 电接触。但是，在专利文献1所示的结构中，只可以进行一组触点对的开闭，不能采用c触 点结构。即，不能制作成具有通用触点(c触点)和一对触点(a触点、b触点)，交替进行a 触点及c触点间的开闭、和b触点及c触点间的开闭的结构。(专利文献2)专利文献2公示的微型触点开闭器能够进行多组触点对的开闭。S卩，在专利文献2 记载的微型触点开闭器中，通过支点部非固定支承具有制成带板状的可挠性的微型可动部 的中央，在微型可动部的两端部分别设置有与基板上的下部电极相对的上部电极、和与基 板上的一对固定触点(固定触点对)相对的可动触点。该微型触点开闭器结构为，在任一上部电极与下部电极之间施加电压，使两电极 彼此之间吸附，由此，使微型可动部倾斜或挠曲，使与该电极接近的可动触点与固定触点对 接触。在这种结构的微型触点开闭器中，用配线电连接一固定触点对中的单方的固定触 点和另一固定触点对中的单方的固定触点，由此制成C触点结构。但是，在专利文献2公示的微型触点开闭器中，在切换左右固定触点对的开闭的 情况下，变为如下的动作。例如，右侧的上部电极和下部电极吸附，右侧的可动触点与固定 触点对接触，将该固定触点对之间闭合。只要从该状态切换固定触点对的开闭，解除右侧的 上部电极和下部电极的吸附，就可使右侧的可动触点从固定触点离开，并且，需要使左侧的 上部电极和下部电极吸附，使左侧的可动触点与固定触点对接触。但是，由于该微型可动部 具有可挠性，因此，当解除右侧的上部电极和下部电极的吸附的时刻比与左侧的上部电极 和下部电极吸附的时刻滞后时，右侧的可动触点和左侧的可动触点任一个都成为与固定触点对接触的状态(专利文献2的图1D)，a触点和b触点可能会发生短路。由此，若要快速 地进行左右触点的切换，左右上部电极及下部电极间的吸附、分离时刻的控制就变得困难。另外，假设能够制成c触点结构，在专利文献2的微型触点开闭器中，在微型可动 部的中央存在支点部，因此，需要迂回支点部而长距离地拉伸c触点。因此，可能出现高频 特性恶化、不适合于用于高频信号的切换的不良情况。(专利文献3)专利文献3公示的MEMS开关为下述结构，通过上部电极和下部电极间的静电引力 使上部电极和下部电极吸附，用设置于杠杆状支承的支承台的两端的第一触点部及第二触 点部开闭传递线路的缝隙。在该MEMS开关中，在上部电极与下部电极吸附侧，通过触点部 闭合传递线路的缝隙，在其相反侧强制地打开传递线路的缝隙，因此，提高打开传递线路的 缝隙时的可靠性。另外，传递线路成为c触点结构。但是，在MEMS开关中，第一触点部及其下的缝隙(a触点、c触点)、第二触点部及 其下的缝隙(b触点、c触点)隔着支承台在两侧分离。因此，c触点被长距离地拉伸，MEMS 开关的高频特性恶化。另外，第一触点部及第二触点部的动作行程与支承台摆动时的端部 行程大致相等，且不能将第一及第二触点部的行程设定得再大。(专利文献4)在专利文献4公示的MEMS开关中，在基板的上方杠杆状地支承内侧动作部件和外 侧动作部件，通过在内侧动作部件和基板上的第一或第二固定电极之间作用的静电引力、 使内侧动作部件向任一方向倾斜。外侧动作部件通过用内侧摆动部件的加压棒被按压，由 此，与内侧动作部件连动倾斜，通过设置于外侧动作部件的两端的第一、第二接触部件开闭 第一、第二信号线的缝隙。在该MEMS开关中，在内侧动作部件吸附第一或第二固定电极的 一侧时，通过第一或第二接触部件闭合第一或第二信号线的缝隙，在其相反侧，第一或第二 信号线的缝隙被强制地打开，因此，打开信号线的缝隙时的可靠性提高。在专利文献4那种结构的MEMS开关中，通过连接第一信号线的一触点和第二信号 线的一触点，能够将信号线制成C触点结构。但是，在MEMS开关中，第一接触部件及其下的缝隙(a触点、c触点)和第二触点 部件及其下的缝隙(b触点、c触点)分别位于外侧动作部件的端部，因此，c触点被长距离 地拉伸，MEMS开关的高频特性恶化。另外，第一及第二接触部件的动作行程与外侧动作部 件摆动时的端部行程大致相等，且不能将第一及第二接触部件的动作行程设定得再大。(专利文献5)专利文献5公示的微型继电器是用电磁铁驱动电枢的结构。即，在该微型继电器 11中，如图1所示，在基底基板12中在薄膜13的两端部分别设置有一对固定触点14a、14c ； 14b、14c。在薄膜13的下面，在形成于基底基板12的空腔部内收纳有电磁铁15。在基底基 板12上重叠的电枢块16中，通过设置于电枢17的两侧面的突片18将电枢17转动自如地 支承于框架部19，配置于电枢17的两端部的可动触点基台部20通过接压弹簧部21支承于 电枢17。而且，在基底基板12的上面重叠放置电枢块16的情况下，一可动触点基台部20 的下面的可动触点与固定触点14a、14c相对，另一可动触点基台部20的下面的可动触点与 固定触点14b、14c相对。在该微型继电器11中，激励电磁铁15时，根据这时的极性，电枢17的任一端部与电磁铁15吸附，电枢17倾斜。而且，位于吸附侧的可动触点基台部20的下面的可动触点 使固定触点14a、14c或固定触点14b、14c间闭合。在该微型继电器11中，两端的固定触点14c、14c通过薄膜13的侧方连接，成为c 点结构。但是，如图2所示，c触点即固定触点14c遍及基底基板12的大致全长而延伸，因 此，微型继电器11的高频特性恶化，面向高频用途的设计变得困难。另外，即使在该微型继 电器11中，可动触点(可动触点基台部20)的动作行程与电枢17的摆动时的端部行程大 致相等，不能增大可动触点的动作行程。(专利文献6)如图3所示，专利文献6公示的电磁继电器31的结构为，在印刷电路板32上重叠 板簧状的接触元件支承体33、接触件34、电磁铁(未图示)。如图4所示，在印刷电路板32 的上面形成导体路35a、35b、35c，在隔着导体路35c的左右配置有导体路35a、35b。接触元 件支承体33固定基部，从基部延伸出一对挠性臂36、37，在挠性臂36、37的前端部下面设置 有接触元件38。接触件34通过左右向上下摆动的轴39转动自如地被支承，通过电磁铁切 换为右侧向下的状态和左侧向下的状态。而且，接触件34在左侧向下时，挠性臂36的突部 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹簧结构，其特征在于，具备：支承部件；动作部件，其中央附近通过第一支承轴转动自如地支承于所述支承部件；多个连动部件，隔着所述第一支承轴分别配置于其两侧，通过第二支承轴转动自如地支承于所述支承部件，与所述动作部件转动自如地连结，在比所述第二支承轴及与所述动作部件的连结部分更靠近所述第一支承轴的部位确定作用点。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川端康大，山地佑辅，田中博之，芹川知己，篠浦达生，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]