【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种开关装置。
技术介绍
1、在半导体试验装置等检查装置中，使用用于在被测定物的高频特性的检查(以下称作rf检查)与直流电流的输入电压、输出电压等dc特性的检查(以下称作dc检查)之间切换的开关装置。开关装置例如包含c触点类型的继电器。开关装置在rf检查时将检查装置的rf检查用的电路与被测定物连接。开关装置在dc检查时将检查装置的dc检查用的电路与被测定物连接。
2、专利文献1：日本特开2007-184155号公报
技术实现思路
1、在上述的开关装置中，若因长时间的使用而rf检查用的电路与dc检查用的电路的连接的切换次数变多，则有时检查的精度因开关装置的消耗而降低。例如，在开关装置包含c触点类型的继电器的情况下，继电器的触点的开闭次数变多，从而有时触点的接触电阻变高。在该情况下，dc检查的精度降低。本专利技术的目的在于，在开关装置中，即使长时间使用，也维持稳定且高精度的测定。
2、本专利技术的一个方式的开关装置是用于在rf检查与dc检查之间切换的开关装置。开关装置具备基座、第一dut端子、第一dc端子、第一rf端子、第一低通滤波器以及第一开关部。第一dut端子是被测定物用的端子，配置于基座。第一dc端子是dc检查用的端子，配置于基座。第一rf端子是rf检查用的端子，配置于基座。第一低通滤波器与第一dut端子和第一dc端子连接。第一开关部与第一dut端子和第一rf端子连接。第一开关部能够在接通状态与断开状态之间切换。第一开关部在接通状态下使第一d
3、在本方式的开关装置中，第一开关部在接通状态下使第一dut端子与第一rf端子电导通。在该状态下，rf检查用的信号(以下称作rf信号)通过第一dut端子和第一rf端子而由检查装置检测。另一方面，rf信号在低通滤波器中被截止，因此防止rf信号流向第一dc端子。
4、并且，第一开关部在断开状态下将第一dut端子与第一rf端子电切断。在该状态下，防止dc检查用的信号(以下称作dc信号)流向第一rf端子。dc信号通过第一dut端子、低通滤波器以及第一dc端子而由检查装置检测。因此，dc信号不通过第一开关部地由检查装置检测。由此，即使第一开关部消耗，也能够进行稳定且高精度的dc信号的测定。如上所述，在本方式的开关装置中，即使长时间使用，也维持稳定且高精度的测定。
5、本专利技术的其它方式的开关装置是用于在针对被测定物的dc检查与检查高频特性的环回测试之间切换的开关装置。开关装置具备基座、第一dc端子、第一环回端子、第二dc端子、第二环回端子、第三dc端子、第三环回端子、第四dc端子、第四环回端子、第一低通滤波器、第二低通滤波器、第三低通滤波器、第四低通滤波器、第一开关部以及第二开关部。第一～第四dc端子是dc检查用的端子，配置于基座。第一～第四环回端子是环回测试用的端子，配置于基座。
6、第一低通滤波器与第一环回端子和第一dc端子连接。第二低通滤波器与第二环回端子和第二dc端子连接。第三低通滤波器与第三环回端子和第三dc端子连接。第四低通滤波器与第四环回端子和第四dc端子连接。第一开关部与第一环回端子和第三环回端子连接。
7、第一开关部能够在接通状态与断开状态之间切换。第一开关部在接通状态下将第一环回端子与第三环回端子电导通。第一开关部在断开状态下将第一环回端子与第三环回端子电切断。第二开关部与第二环回端子和第四环回端子连接。第二开关部能够在接通状态与断开状态之间切换。第二开关部在接通状态下将第二环回端子与第四环回端子电导通。第二开关部在断开状态下将第二环回端子与第四环回端子电切断。
8、在本方式的开关装置中，第一开关部在接通状态下将第一环回端子与第三环回端子电导通。并且，第二开关部在接通状态下将第二环回端子与第四环回端子电导通。在该状态下，环回测试用的rf信号通过第一环回端子和第三环回端子返回至被测定物。并且，环回测试用的rf信号通过第二环回端子和第四环回端子返回至被测定物。另一方面，rf信号在第一～第四低通滤波器中被截止，因此防止rf信号流向第一～第四dc端子。
9、第一开关部在断开状态下将第一环回端子与第三环回端子电切断。第二开关部在断开状态下将第二环回端子与第四环回端子电切断。在该状态下，dc信号通过第一环回端子、第一低通滤波器以及第一dc端子而由检查装置检测。dc信号通过第二环回端子、第二低通滤波器以及第二dc端子而由检查装置检测。dc信号通过第三环回端子、第三低通滤波器以及第三dc端子而由检查装置检测。dc信号通过第四环回端子、第四低通滤波器以及第四dc端子而由检查装置检测。因此，dc信号不通过第一开关部以及第二开关部地由检查装置检测。由此，即使第一开关部以及第二开关部消耗，也能够进行稳定且高精度的dc信号的测定。如上所述，在本方式的开关装置中，即使长时间使用，也维持稳定且高精度的测定。
10、根据本专利技术的开关装置，即使长时间使用，也维持稳定且高精度的测定。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种开关装置，用于在检查被测定物的高频特性的RF检查与检查所述被测定物的DC特性的DC检查之间切换，其特征在于，所述开关装置具备：
2.根据权利要求1所述的开关装置，其特征在于，还具备：
3.根据权利要求2所述的开关装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
6.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
7.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
8.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
9.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
10.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
11.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
12.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
13.根据权利要求2所述的开关装置，其特征在于，还具备：
14.根据权利要求13所述的开关装置，其特征在于，p>
15.一种开关装置，用于在检查被测定物的DC特性的DC检查与检查所述被测定物的高频特性的环回测试之间切换，其特征在于，所述开关装置具备：
16.根据权利要求15所述的开关装置，其特征在于，
17.根据权利要求16所述的开关装置，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种开关装置，用于在检查被测定物的高频特性的rf检查与检查所述被测定物的dc特性的dc检查之间切换，其特征在于，所述开关装置具备：
2.根据权利要求1所述的开关装置，其特征在于，还具备：
3.根据权利要求2所述的开关装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
6.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，还具备：
7.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
8.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在于，
9.根据权利要求3所述的开关装置，其特征在...
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