基于ＭｏＳ２－ＴｉＣ－Ｃ的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法技术

一种纳米表面处理技术领域的基于ＭｏＳ２－ＴｉＣ－Ｃ的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到ＭｏＳ２－ＴｉＣ－Ｃ复合薄膜。本发明专利技术制备工艺简单，沉积过程易于控制，沉积后的复合薄膜无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。本工艺制备所得的复合薄膜硬度高，纳米硬度达到７．６ＧＰａ，抗磨减摩性能优异，摩擦系数可达到０．０４，经摩擦磨损测试后薄膜表面未见磨穿脱落现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种纳米处理
的材质及方法，具体是一种基于 MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法。
技术介绍
近年来，固态润滑材料的研究成为摩擦学领域的热点问题。与液体润滑剂相比， 一方面它具有更高的使用温度和更大的承载能力，另一方面可以减小对环境的污染。常用 的固态润滑材料主要有MoS2、WS2和石墨，其中又以MoS2基润滑材料的研究应用最为广泛。 普通层状结构(2H)的过渡族金属硫化物MoS2晶体是S-Mo-S原子形成的六方体结构，在每 一层里S-Mo原子以很强的共价键结合，层与层之间以很弱的范德瓦尔斯键结合，层与层之 间易于滑动，呈现出良好的润滑性能，因而被广泛用作干摩擦状态下的固态薄膜润滑材料。 但是由于层状结构的MoS2晶体边缘不饱和的悬挂键具有化学活性，在大气(特别是潮湿空 气)和富氧环境的摩擦过程中容易被氧化生成MoO3和H2SO4使其摩擦性能急剧下降，甚至 失去润滑作用，MoS2薄膜的这一缺点大大限制了其在大气环境中的应用。与此同时，TiC薄 膜和DLC(类金刚石)薄膜由于其强度高、硬度高、耐蚀性和热稳定性好，可以有效地提高材 料的耐磨性能和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于ＭｏＳ↓［２］－ＴｉＣ－Ｃ的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征在于，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到ＭｏＳ↓［２］－ＴｉＣ－Ｃ复合薄膜。

【技术特征摘要】
一种基于MoS2 TiC C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征在于，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到MoS2 TiC C复合薄膜。2.根据权利要求1所述的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征 是，所述的不锈钢基片为经抛光机上抛光后超声波清洗并吹干后的不锈钢片。3.根据权利要求2所述的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征 是，所述的基片为不锈钢，直径为30mm，厚度为4mm。4.根据权利要求2所述的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征 是，所述的抛光是指将基片抛光至光洁度小于等于0. 01 μ m。5.根据权利要求2所述的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征 是，所述的超声清洗是指采用分析纯酒精、丙酮将抛光后的不锈钢基片置于超声清洗机中 分别超声清洗30min。6.根据权利要求2所述的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜的制备方法，其特征 是，所述的吹干是指用压缩氮气将不锈钢基片表面吹干。7.根据权利要求1所述的基于Mo...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳，李倩倩，尹桂林，余震，何丹农，
申请(专利权)人：上海交通大学，上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]