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一种纳米表面处理技术领域的基于ＭｏＳ２－ＴｉＣ－Ｃ的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到ＭｏＳ２－ＴｉＣ－Ｃ复合薄膜。本发明制备工艺简单，沉积过程易于控制，沉积后的复合薄膜无需进行热...该专利属于上海交通大学;上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学;上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司授权不得商用。