具有含铝铬硬质材料层的工件及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种含层体系的工件或构件，该层体系含至少一层组成为（Ａｌ↓［ｙ］Ｃｒ↓［１－ｙ］）Ｘ的层，其中ｘ＝Ｎ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯ或ＣＢＮＯ，并且０．２≤ｙ＜０．７，在层中的层组成基本上是恒定的或经层厚度呈连续的或分层次的变化。本发明专利技术还涉及制备该工件或构件的方法。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的
是一种涂有含至少一层下列所述的组成为 (AlyCr,-y) X的层的层体系的工件一种涂有含至少一层组成为(AlyCr，-y)X的层的层体系的工件，其中 X - N、 C、 B、 CN、 BN、 CBN、 N0、 C0、 B0、 CN0、或CBN0，并且0. 2 < y < 0.7，在层内的层組成经层厚度呈连续或分层次地变化，并且在层中 (AlyCr,—》X呈立方形晶体结钩，该工件是下列工具之一即铣刀；适于旋 转加工和铣削加工的拉刀、铰刀、转位式刀片；模具或注塑工具。在一种优选的实施方式中，所述铣刀是滚齿刀、球形铣刀、平面铣刀 或成形铣刀，一种涂有含至少一层组成为(AlyCr,—y)X的层的层体系的工件，其中 X-N、 C、 B、 CN、 BN、 CBN、 NO、 CO、 B0、 CN0、 BNO或CBNO,并且0. 2 < y < 0, 7，在层内的层组成是恒定的或经层厚度呈连续或分层次的变化， 该工件是构件，本专利技术还涉及用于在下列所述的工件上淀积至少一层(AlyCr,-y) X层 的PVD方法所述工件其特征在于，该滑动层包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在工件上淀积至少一层（Ａｌ↓［ｙ］Ｃｒ↓［１－ｙ］）Ｘ层的ＰＶＤ方法，其中Ｘ＝Ｎ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯ或ＣＢＮＯ，并且０．２≤ｙ＜０．７，方法中在含至少一个０．２５≤ｚ≤０．７５的Ａｌ↓［ｚ］Ｃｒ↓［１－ｚ］靶的真空涂覆装置中置入至少一个工件，并在压力为０．５－８Ｐａ和加入含氮、含碳、含硼或含氧的反应性气体，并在工件上施加－３至－１５０Ｖ的基片偏压的条件下用电弧源或溅射源如此运行，以使在至少一层（Ａｌ↓［ｙ］Ｃｒ↓［１－ｙ］）Ｘ层内的层组成基本上呈恒定或经层厚呈连续或分层次的变化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：V德尔夫林格，A赖特，C盖，
申请(专利权)人：奥尔利康贸易股份公司特吕巴赫，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]