一种高洁净度的立式晶圆出货盒制造技术

技术编号:40241616 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-02 22:39
本技术提供一种高洁净度的立式晶圆出货盒,涉及出货盒技术领域,包括支撑板,所述支撑板上表面一体化设置有安装架,所述支撑板上表面安装有套盒,套盒上端设置有盒盖,所述支撑板上设置有定位组件,支撑板上表面一周开设有限位槽,所述套盒下端一周设置有限位块,所述限位块通过定位组件设置在限位槽内部,本技术通过工作人员转动滑杆,便能够使滑杆向前进行移动,来调整滑杆与安装套之间的长度,此时便能够调整两个导向板之间的距离,便能够使定位柱从定位孔内部脱离,此时便能够将限位块从限位槽内部脱离,此时便能够将套盒从支撑板上表面脱离,此时便能够将此装置进行分离,便于工作人员对套盒与支撑板进行全方位的清洗。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及出货盒,具体而言,涉及一种高洁净度的立式晶圆出货盒


技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅,高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆,在晶圆生产完成后,需要对晶圆通过出货盒进行包装,如专利申请号cn202221331973.x一种高洁净度的立式晶圆出货盒,包括盒体,盒体内固定安装有晶圆放置架,晶圆放置架包括相对设置的第一卡槽部与第二卡槽部,第一卡槽部与第二卡槽部分别相对应设有若干第一晶圆卡槽与若干第二晶圆卡槽,盒体的上端开口处设有盒盖,盒盖的下表面设有若干晶圆卡口,盒盖的四周边沿朝下设有连接边,连接边的下端面设有插槽,插槽内固定设有一圈密封泡沫垫,盒体的上端插入到插槽中并与密封泡沫垫挤压,盒体的四周通过若干卡接结构与盒盖可拆卸连接,盒体的上端与密封泡沫垫挤压能对盒体内部进行密封,保证了盒体内的高洁净度,卡接结构能快速拆装盒体与盒盖,比较方便,现有技术中,盒体在生产完成后,需要对盒体内部进行清洗,且以为内盒体是一体化形成的,盒体内部工作人员不易进行清洗,仍可能会残存灰尘等,影响晶圆的储存。


技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种高洁净度的立式晶圆出货盒,可以有效解决
技术介绍
中盒体在生产完成后,需要对盒体内部进行清洗,且以为内盒体是一体化形成的,盒体内部工作人员不易进行清洗,仍可能会残存灰尘等,影响晶圆的储存的问题。

2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种高洁净度的立式晶圆出货盒,包括支撑板,所述支撑板上表面一体化设置有安装架,所述支撑板上表面安装有套盒,所述套盒上端设置有盒盖,所述支撑板上设置有定位组件,所述支撑板上表面一周开设有限位槽,所述套盒下端一周设置有限位块,所述限位块通过定位组件设置在限位槽内部。

3、作为优选,所述盒盖上表面固定安装有拉手。

4、作为优选,所述定位组件包括通孔、导向杆、定位孔,所述支撑板一侧贯穿开设有通孔,所述支撑板两侧均滑动安装有导向杆,所述限位块上等距开设有若干定位孔。

5、作为优选,两个所述导向杆远离支撑板的一端均固定安装有导向板。

6、作为优选,所述导向板靠近支撑板的一面等距固定安装有若干定位柱,所述定位柱顶端活动贯穿限位槽设置在定位孔内部。

7、作为优选,其中一个所述导向板表面固定安装有安装套,所述安装套内部安装有滑杆,所述滑杆顶端活动穿过通孔与另外一个导向板转动连接。

8、作为优选,所述安装套内壁设置有内螺纹,所述滑杆侧面设置有外螺纹,所述内螺纹与内螺纹啮合连接。

9、与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:

10、(1)通过工作人员转动滑杆,因为安装套内壁设置有内螺纹,滑杆侧面设置有外螺纹,内螺纹与内螺纹啮合连接,此时便能够使滑杆向前进行移动,来调整滑杆与安装套之间的长度,此时便能够调整两个导向板之间的距离,便能够使定位柱从定位孔内部脱离,此时便能够将限位块从限位槽内部脱离,此时便能够将套盒从支撑板上表面脱离,此时便能够将此装置进行分离,便于工作人员对套盒与支撑板进行全方位的清洗。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高洁净度的立式晶圆出货盒,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)上表面一体化设置有安装架(6),所述支撑板(1)上表面安装有套盒(3),所述套盒(3)上端设置有盒盖(4),所述支撑板(1)上设置有定位组件(2),所述支撑板(1)上表面一周开设有限位槽(7),所述套盒(3)下端一周设置有限位块(8),所述限位块(8)通过定位组件(2)设置在限位槽(7)内部。

2.根据权利要求1所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述盒盖(4)上表面固定安装有拉手(5)。

3.根据权利要求1所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述定位组件(2)包括通孔(202)、导向杆(204)、定位孔(205),所述支撑板(1)一侧贯穿开设有通孔(202),所述支撑板(1)两侧均滑动安装有导向杆(204),所述限位块(8)上等距开设有若干定位孔(205)。

4.根据权利要求3所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:两个所述导向杆(204)远离支撑板(1)的一端均固定安装有导向板(201)。

5.根据权利要求4所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述导向板(201)靠近支撑板(1)的一面等距固定安装有若干定位柱(206),所述定位柱(206)顶端活动贯穿限位槽(7)设置在定位孔(205)内部。

6.根据权利要求5所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:其中一个所述导向板(201)表面固定安装有安装套(208),所述安装套(208)内部安装有滑杆(203),所述滑杆(203)顶端活动穿过通孔(202)与另外一个导向板(201)转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述安装套(208)内壁设置有内螺纹(209),所述滑杆(203)侧面设置有外螺纹(207),所述内螺纹(209)与内螺纹(209)啮合连接。

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【技术特征摘要】

1.一种高洁净度的立式晶圆出货盒,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)上表面一体化设置有安装架(6),所述支撑板(1)上表面安装有套盒(3),所述套盒(3)上端设置有盒盖(4),所述支撑板(1)上设置有定位组件(2),所述支撑板(1)上表面一周开设有限位槽(7),所述套盒(3)下端一周设置有限位块(8),所述限位块(8)通过定位组件(2)设置在限位槽(7)内部。

2.根据权利要求1所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述盒盖(4)上表面固定安装有拉手(5)。

3.根据权利要求1所述的一种高洁净度的立式晶圆出货盒,其特征在于:所述定位组件(2)包括通孔(202)、导向杆(204)、定位孔(205),所述支撑板(1)一侧贯穿开设有通孔(202),所述支撑板(1)两侧均滑动安装有导向杆(204),所述限位块(8)上等距开设有若干定位孔(205)。

4.根据权利要求3所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘春峰
申请(专利权)人:荣耀电子材料重庆有限公司
类型:新型
国别省市:

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