一种立式晶圆盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，包括保护壳机构，所述保护壳机构的内部固定连接有减震机构，所述减震机构的内部搭接有单片储存机构；所述保护壳机构包括保护壳和活动门

【技术实现步骤摘要】
一种立式晶圆盒


[0001]本技术涉及晶圆盒
，具体涉及一种立式晶圆盒
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的片，其是硅
。
高纯度的溶解后掺入硅，然后慢慢拉出，形成圆柱形的
。
硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶，也就是晶圆
。
国内晶圆生产线以8英寸和
12
英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批量加工，即同时加工1片或多片晶圆
。
随着半导体越来越小，加工及越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点
。
同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，在晶圆运输中，需要用到晶圆盒
。
[0003]例如公开号为
CN209757886U
中国专利公开了一种立式晶圆托运盒，包括上盖
、
片架
、
底盖，所述片架的两个相对的片架侧壁的相对面设有若干间距排布的用于插置晶圆的插槽，所述片架放置于底盖内，所述上盖扣接盖设于所述底盖的上方；所述上盖的内侧面中心设有与晶圆顶部形状适配的弧形部，所述弧形部的平行于晶圆中心轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的悬臂弹片，所述悬臂弹片的一端固定在所述上盖的内侧面，其另一端为向晶圆中心水平延伸的自由端，所述自由端的端部的下表面设有向下的用于夹持和稳定晶圆上部的
U
型支撑槽，所述
U
型支撑槽与所述插槽一一对应
。
本技术具有结构简单
、
安装方便
、
节约成本
、
减少卡片现象的特点
。
[0004]针对现有技术存在以下问题：
[0005]现有技术在晶圆运输的过程中，需要用到晶圆盒来储存晶圆，现有晶圆储存盒在进行储存晶圆时，对晶圆的保护措施不足，在运输的过程中，晶圆存在较大损坏的风险，不便于使用；现有技术在晶圆存放时，晶圆盒不能对不同规格的晶圆进行储存，还需使用对应规格的晶圆盒，但多种规格的晶圆盒在生产的过程中，会耗费过多资金，不便于使用
。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种立式晶圆盒，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0007]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0008]一种立式晶圆盒，包括保护壳机构，所述保护壳机构的内部固定连接有减震机构，所述减震机构的内部搭接有单片储存机构；所述保护壳机构包括保护壳和活动门，所述保护壳的顶部与活动门的一侧转动连接，所述活动门的顶部滑动连接与把手，所述活动门一侧螺纹连接有螺丝，所述保护壳的内部固定连接有螺纹套；所述减震机构包括固定套和储能弹簧一，所述固定套内腔的一侧与储能弹簧一的一端固定连接，所述储能弹簧一的另一端固定连接有推杆，所述推杆的一端转动连接有支杆
。
[0009]本技术技术方案的进一步改进在于：所述支杆的一端转动连接有转动块，所述保护壳内腔的底部固定连接有阻尼器，所述阻尼器的表面套接有储能弹簧二
。
[0010]本技术技术方案的进一步改进在于：所述阻尼器的顶部固定连接有存放仓，所述活动门的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有压板
。
[0011]本技术技术方案的进一步改进在于：所述单片储存机构包括储存盒和盒盖，所述储存盒的表面与盒盖的内壁螺纹连接，所述储存盒内腔的底部固定连接有存放座，所述存放座内腔的两侧固定连接有夹紧套，所述夹紧套内腔的一侧固定连接有夹紧弹簧
。
[0012]本技术技术方案的进一步改进在于：所述夹紧弹簧的一端固定连接有夹紧杆，所述夹紧杆的一端固定连接有夹板，所述夹板的一侧固定连接有橡胶片，所述橡胶片的一侧搭接有珍珠棉，所述珍珠棉的内壁搭接有晶圆
。
[0013]本技术技术方案的进一步改进在于：所述盒盖内腔的顶部固定连接有压紧弹簧，所述压紧弹簧的底部固定连接有压紧板，所述压紧板的底部固定连接有橡胶垫，所述压紧板的顶部固定连接有弹性套
。
[0014]由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0015]1、
本技术提供一种立式晶圆盒，采用固定套
、
储能弹簧一
、
推杆
、
支杆
、
转动块
、
阻尼器
、
储能弹簧二
、
存放仓
、
电动伸缩杆
、
压板
、
珍珠棉
、
晶圆
、
压紧弹簧
、
压紧板
、
橡胶垫
、
弹性套等之间的相互配合，通过将盒盖放置至储存盒的顶部，转动盒盖使盒盖与储存盒螺纹连接，同时在盒盖向下移动的作用下，压紧板带动橡胶垫对晶圆从顶部进行压紧固定，避免在运输的过程中晶圆晃动损坏，随后将单片储存机构放置至存放仓内腔，单片储存机构的盒盖顶部的凸起与另一单片储存机构储存盒底部的凹槽啮合，使其在存放仓内立式竖直堆码使更加稳定，随后启动电动伸缩杆，在电动伸缩杆的作用下，压板向下移动，对多个单片储存机构进行压紧，避免运输过程中储存盒出现晃动，使对晶圆的防护效果进一步提高，同时在运输过程中，出现晃动时，因保护壳晃动产生的动能在储能弹簧一和储能弹簧二的作用下，进行储存，随后由阻尼器进行消耗，避免保护壳晃动而导致内部的晶圆晃动，使防护效果再次提高，使立式晶圆存放盒更便于使用，解决了在晶圆运输的过程中，需要用到晶圆盒来储存晶圆，现有晶圆储存盒在进行储存晶圆时，对晶圆的保护措施不足，在运输的过程中，晶圆存在较大损坏的风险，不便于使用的问题
。
[0016]2、
本技术提供一种立式晶圆盒，采用储存盒
、
盒盖
、
存放座
、
夹紧套
、
夹紧弹簧
、
夹紧杆
、
夹板
、
橡胶片等之间的相互配合，通过将晶圆表面包裹一层珍珠棉，随后将晶圆放置至储存盒内腔中的存放座中，在夹紧弹簧的作用，推动夹紧杆移动，同时夹紧杆推动夹板使橡胶片与珍珠棉接触，对晶圆进行夹紧固定，同时可对不同规格的晶圆进行夹紧，使其可存放大部分规格的晶圆，更便于使用，解决了在晶圆存放时，晶圆盒不能对不同规格的晶圆进行储存，还需使用对应规格的晶圆盒，但多种规格的晶圆盒在生产的过程中，会耗费过多资金，不便于使用的问题
。
附图说明
[0017]图1为本技术的主视结构示意图；
[0018]图2为本技术的剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术的单片储存机构剖视结构示意图；
[0020]图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种立式晶圆盒，包括保护壳机构
(1)
，其特征在于：所述保护壳机构
(1)
的内部固定连接有减震机构
(2)
，所述减震机构
(2)
的内部搭接有单片储存机构
(3)
；所述保护壳机构
(1)
包括保护壳
(11)
和活动门
(12)
，所述保护壳
(11)
的顶部与活动门
(12)
的一侧转动连接，所述活动门
(12)
的顶部滑动连接与把手
(13)
，所述活动门
(12)
一侧螺纹连接有螺丝
(14)
，所述保护壳
(11)
的内部固定连接有螺纹套
(15)
；所述减震机构
(2)
包括固定套
(21)
和储能弹簧一
(22)
，所述固定套
(21)
内腔的一侧与储能弹簧一
(22)
的一端固定连接，所述储能弹簧一
(22)
的另一端固定连接有推杆
(23)
，所述推杆
(23)
的一端转动连接有支杆
(24)。2.
根据权利要求1所述的一种立式晶圆盒，其特征在于：所述支杆
(24)
的一端转动连接有转动块
(25)
，所述保护壳
(11)
内腔的底部固定连接有阻尼器
(26)
，所述阻尼器
(26)
的表面套接有储能弹簧二
(27)。3.
根据权利要求2所述的一种立式晶圆盒，其特征在于：所述阻尼器
(26)
的顶部固定连接有存放仓
(28)
，所述活动门
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春峰，刘国华，洪巧水，
申请(专利权)人：荣耀电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：