【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产，具体而言，涉及晶圆传送盒用干燥装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆传送盒用于放置并传送晶圆，晶圆盒需要定期进行清洗，清洗后需要对其进行烘干，使用到干燥装置，如申请号为cn202222583056.7的专利提出的晶圆传送盒用干燥装置，包括用于水平支撑晶圆传送盒的门盖的若干支架，当晶圆传送盒承载于支架时，门盖朝向地面方向，还包括连接外部干燥气源的干燥喷头，干燥喷头伸入晶圆传送盒的本体的中央腔室中，用于向中央腔室中传送压缩干燥气体，该干燥装置有利清洗后的残留水分向门盖方向流淌，有利于排出氮气填充口滤嘴中残留的水和污染物，从而提高干燥效果、洁净效果，加快干燥过程，降低使用时其中装载的晶圆被污染的风险，避免氮气填充口滤嘴堵塞，延长晶圆传送盒的使用寿命，提高了晶圆产品良率。
2、但是上述技术方案在使用时，未对传送盒内的水分进行预处理，仅通过干燥气体对晶圆传送盒进行干燥，干燥所需时间较久，不仅效率低下，还容易导致传送盒温度过高，增大了下料时被烫伤的风险，因此我们对此做出改进，提出晶圆传送盒用干燥装置。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供晶圆传送盒用干燥装置，可以有效解决现有的干燥装置未对传送盒内的水分进行预处理，仅通过干燥气体对晶圆传送盒进行干燥，干燥所需时间较久，不仅效率低下，还容易导致传送盒温度过高，增大了下料时被烫伤的风险的问题。
2、为
3、晶圆传送盒用干燥装置，包括底座，所述底座上表面两端分别固定连接有驱动机构和支撑架，所述驱动机构一端设置有预处理机构，所述支撑架上设置有干燥机构。
4、作为优选，所述驱动机构包括固定板，所述固定板与底座上表面固定连接，所述固定板一侧转动连接有丝杆。
5、作为优选，所述固定板另一侧固定连接有限位杆，所述固定板一端固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端与丝杆固定连接。
6、作为优选，所述丝杆和限位杆杆身上活动连接有安装板，所述安装板一侧固定连接有支撑板和第二电机，所述支撑板靠近安装板的一端上表面转动连接有第一链轮。
7、作为优选，所述第二电机的输出端与第一链轮固定连接，所述支撑板远离安装板的一端设置有第二链轮，所述第二链轮与第一链轮之间通过链条连接。
8、作为优选，所述预处理机构包括转轴，所述转轴转动连接在支撑板远离安装板的一端，所述转轴顶端和底端均固定连接有清理盘，所述转轴下端固定套设在第二链轮内，所述转轴中部轴身上固定套设有连接套，所述连接套两侧分别固定连接有连接杆，所述连接杆远离连接套的一端固定连接有清理板。
9、作为优选，所述干燥机构包括气缸，所述气缸固定安装在支撑架顶端，所述气缸的输出端贯穿支撑架且固定连接有固定架，所述固定架上表面两端分别固定连接有导向杆，所述导向杆与支撑架滑动连接，所述固定架底部固定连接有防护罩。
10、作为优选，所述防护罩一侧固定安装有热风机，所述防护罩内部固定连接有若干风管，每个所述风管上均设置有若干喷头，所述热风机与风管连通。
11、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
12、(1)将晶圆传送盒放置在防护罩下方，启动第一电机带动丝杆转动，驱动安装板和支撑板朝着靠近传送盒的方向移动，预处理机构跟随支撑板同步移动，直至延伸至传送盒内部，第二电机用于对预处理机构进行旋转驱动，具体地，启动第二电机带动第一链轮转动，通过链条带动第二链轮同步转动，从而带动转轴转动，从而带动清理盘和清理板转动，清理盘表面、外周面以及清理板上均设置有吸水毛刷，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间，避免传送盒温度过高导致人员下料时烫伤。
13、(2)在对传送盒预处理后，通过驱动机构将预处理机构带离传送盒，随后启动气缸带动防护罩向下移动，将传送盒罩设在内，随后启动热风机，通过风管和干燥喷头将热风送至防护罩内部，对传送盒内部进行干燥。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.晶圆传送盒用干燥装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面两端分别固定连接有驱动机构(2)和支撑架(4)，所述驱动机构(2)一端设置有预处理机构(3)，所述支撑架(4)上设置有干燥机构(5)，所述干燥机构(5)包括气缸(501)，所述气缸(501)固定安装在支撑架(4)顶端，所述气缸(501)的输出端贯穿支撑架(4)且固定连接有固定架(505)，所述固定架(505)上表面两端分别固定连接有导向杆(504)，所述导向杆(504)与支撑架(4)滑动连接，所述固定架(505)底部固定连接有防护罩(502)，所述防护罩(502)一侧固定安装有热风机(503)，所述防护罩(502)内部固定连接有若干风管(506)，每个所述风管(506)上均设置有若干喷头(507)，所述热风机(503)与风管(506)连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)与底座(1)上表面固定连接，所述固定板(201)一侧转动连接有丝杆(203)。
3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒用干燥装置，其
4.根据权利要求3所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述丝杆(203)和限位杆(206)杆身上活动连接有安装板(204)，所述安装板(204)一侧固定连接有支撑板(210)和第二电机(205)，所述支撑板(210)靠近安装板(204)的一端上表面转动连接有第一链轮(207)。
5.根据权利要求4所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述第二电机(205)的输出端与第一链轮(207)固定连接，所述支撑板(210)远离安装板(204)的一端设置有第二链轮(209)，所述第二链轮(209)与第一链轮(207)之间通过链条(208)连接。
6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述预处理机构(3)包括转轴(301)，所述转轴(301)转动连接在支撑板(210)远离安装板(204)的一端，所述转轴(301)顶端和底端均固定连接有清理盘(302)，所述转轴(301)下端固定套设在第二链轮(209)内，所述转轴(301)中部轴身上固定套设有连接套(303)，所述连接套(303)两侧分别固定连接有连接杆(304)，所述连接杆(304)远离连接套(303)的一端固定连接有清理板(305)。
...【技术特征摘要】
1.晶圆传送盒用干燥装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面两端分别固定连接有驱动机构(2)和支撑架(4)，所述驱动机构(2)一端设置有预处理机构(3)，所述支撑架(4)上设置有干燥机构(5)，所述干燥机构(5)包括气缸(501)，所述气缸(501)固定安装在支撑架(4)顶端，所述气缸(501)的输出端贯穿支撑架(4)且固定连接有固定架(505)，所述固定架(505)上表面两端分别固定连接有导向杆(504)，所述导向杆(504)与支撑架(4)滑动连接，所述固定架(505)底部固定连接有防护罩(502)，所述防护罩(502)一侧固定安装有热风机(503)，所述防护罩(502)内部固定连接有若干风管(506)，每个所述风管(506)上均设置有若干喷头(507)，所述热风机(503)与风管(506)连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)与底座(1)上表面固定连接，所述固定板(201)一侧转动连接有丝杆(203)。
3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒用干燥装置，其特征在于：所述固定板(201)另一侧固定连接有限位杆(206)，所述固定板(201)一端固定连接有第一电机(202)...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘春峰，
申请(专利权)人：荣耀电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。