【技术实现步骤摘要】
本技术涉及清洗机，具体而言，涉及一种全方位无死角式晶圆盒清洗机。
技术介绍
1、晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，晶圆盒在长时间使用后会有灰尘落在晶圆盒上，需要定期对晶圆盒进行清洗如专利申请号cn202123184231.7一种半导体晶圆盒自动清洗设备包括机体，所述机体上设置有进料口和出料口，所述进料口到出料口之间依次设置有清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括槽洗区和喷淋区，所述槽洗区靠近所述进料口，所述喷淋区包括冷水喷淋区和热水喷淋区；所述烘干机构设置在靠近所述热水喷淋区的一端，所述烘干机构至少包括红外线烘干区，所述红外线烘干区的顶部设置有红外线发生器；所述机架上还设置有传输机构，所述传输机构在所述机架上做循环传输运动，所述传输机构所述传输机构包括同步机械手和传输线。本方案将槽洗和喷淋相结合，并利用红外线和氮气分段进行烘干，确保清洁后的晶圆盒洁净干燥，无颗粒物和水分残留，但是上述技术方案中，不能够对不同规格的晶圆盒进行清洗，且晶圆盒内部的一些死角不易进行清洗，影响清洁效率。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，可以有效解决
技术介绍
中不能够对不同规格的晶圆盒进行清洗，且晶圆盒内部的一些死角不易进行清洗，影响清洁效率的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，包括工作台，所述工作台上表面固定安装有侧板，所述侧板上端固定安装有顶板，所述顶板下表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机输
3、作为优选，所述工作台下表面固定安装有安装架。
4、作为优选，所述工作台上表面开设有储水槽，所述储水槽下端表面设置有出水口。
5、作为优选，所述安装盒两侧内壁开设有第一滑槽，所述滑板一端两侧固定安装有第一滑块，所述第一滑块滑动安装在第一滑槽内部。
6、作为优选，所述调节组件包括第二限位板，所述伺服电机输出端固定安装有第二限位板，两个所述刮板均滑动安装在第二限位板下表面。
7、作为优选，所述第二限位板上安装有双向丝杆，所述双向丝杆一端固定安装有转盘，所述双向丝杆中部套设安装有两个丝杆螺套，两个所述刮板与两个丝杆螺套连接。
8、作为优选，所述第二限位板下表面开设有第二滑槽，所述刮板上端固定安装有第二滑块，所述第二滑块滑动安装在第二滑槽内部。
9、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
10、(1)通过工作人员将晶圆盒套设在两个刮板之间，将安装盒与滑板贴合在晶圆盒内部表面，此时通过工作人员转动双向丝杆，使双向丝杆中部的两个丝杆螺套向相互远离的一面进行移动，此时便能够带动两个刮板向相互远离的方向进行移动，使两个刮板的表面贴合在晶圆盒内壁上，且在调整两个刮板之间的距离后，便能够带动滑板在安装盒内壁上滑动，调整滑板与安装盒的长度，使滑板与安装盒的长度与晶圆盒的直径相同，此时通过工作人员用手抓住晶圆盒，此时通过伺服电机输出端驱动第二限位板进行转动，同时驱动刮板贴合在晶圆盒内壁上转动，使滑板与安装盒贴合在晶圆盒内部表面转动，使第一毛刷、第二毛刷、第三毛刷对晶圆盒内部进行全方面清洗，且能够对不同的直径的晶圆盒进行清洗还不会残存死角。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面固定安装有侧板(9)，所述侧板(9)上端固定安装有顶板(10)，所述顶板(10)下表面固定安装有伺服电机(8)，所述伺服电机(8)输出端设置有调节组件(7)，所述伺服电机(8)通过调节组件(7)安装有两个刮板(6)，两个所述刮板(6)相互远离的一面均等距设置有若干第一毛刷(11)，其中一个所述刮板(6)内表面固定安装有安装盒(5)，所述安装盒(5)内部滑动安装有滑板(12)，所述滑板(12)下表面等距设置有若干第三毛刷(16)，所述安装盒(5)两侧均固定安装有第一限位板(15)，所述第一限位板(15)下表面等距设置有若干第二毛刷(14)。
2.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述工作台(1)下表面固定安装有安装架(2)。
3.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述工作台(1)上表面开设有储水槽(4)，所述储水槽(4)下端表面设置有出水口(3)。
4.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗
5.根据权利要求4所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述调节组件(7)包括第二限位板(701)，所述伺服电机(8)输出端固定安装有第二限位板(701)，两个所述刮板(6)均滑动安装在第二限位板(701)下表面。
6.根据权利要求5所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述第二限位板(701)上安装有双向丝杆(703)，所述双向丝杆(703)一端固定安装有转盘(702)，所述双向丝杆(703)中部套设安装有两个丝杆螺套(704)，两个所述刮板(6)与两个丝杆螺套(704)连接。
7.根据权利要求6所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述第二限位板(701)下表面开设有第二滑槽(18)，所述刮板(6)上端固定安装有第二滑块(19)，所述第二滑块(19)滑动安装在第二滑槽(18)内部。
...【技术特征摘要】
1.一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面固定安装有侧板(9)，所述侧板(9)上端固定安装有顶板(10)，所述顶板(10)下表面固定安装有伺服电机(8)，所述伺服电机(8)输出端设置有调节组件(7)，所述伺服电机(8)通过调节组件(7)安装有两个刮板(6)，两个所述刮板(6)相互远离的一面均等距设置有若干第一毛刷(11)，其中一个所述刮板(6)内表面固定安装有安装盒(5)，所述安装盒(5)内部滑动安装有滑板(12)，所述滑板(12)下表面等距设置有若干第三毛刷(16)，所述安装盒(5)两侧均固定安装有第一限位板(15)，所述第一限位板(15)下表面等距设置有若干第二毛刷(14)。
2.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述工作台(1)下表面固定安装有安装架(2)。
3.根据权利要求1所述的一种全方位无死角式晶圆盒清洗机，其特征在于：所述工作台(1)上表面开设有储水槽(4)，所述储水槽(4)下端表面设置有出水口(3)。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘春峰，
申请(专利权)人：荣耀电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。