【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置
[0001]本专利技术涉及清洗装置
,特别涉及一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置
。
技术介绍
[0002]在晶圆的加工制造过程中,对于污染物的管控尤其重要,通常需将晶圆放置于晶圆盒中以进行存储或运输,需进一步避免晶圆盒的内部产生颗粒物而对晶圆造成影响,所以在晶圆盒注塑后,需要对其进行彻底的清洗
。
[0003]中国专利文献
CN217912033U
公开了一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,包括机架,机架上安装有辊轮输送机,辊轮输送机上沿着其输送方向依次设有第一清洗区以及第二清洗区,第一清洗区设有防溅罩,第一清洗区内相邻两根辊轮之间设有若干第一喷头,第一喷头朝上设置;
[0004]该专利在日常使用中,虽然通过多次冲洗能够较好的对晶圆盒进行清洗,但是直接对着晶圆盒冲洗,容易对晶圆盒造成伤害,使其无法充分密封,影响到后续的正常使用,且直接采用冲洗的方式,晶圆盒需要提前进行摆放,才能够进行清洗工作,使得装置使用起来较为麻烦,直接对晶圆盒进行冲洗,无法让水资源重复利用,增加了水资源的消耗
。
技术实现思路
[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,可以有效解决容易对晶圆盒造成伤害以及无法让水资源重复利用的问题
。
[0006]为实现上述目的,本专利技术采取的技术方案为:
[0007]一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,包括工作台,所述工作台上端中部开设有开口,所述工作台下端 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,包括工作台
(1)
,其特征在于:所述工作台
(1)
上端中部开设有开口,所述工作台
(1)
下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构
(2)
,所述清洗机构
(2)
上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构
(3)
,所述清洗机构
(2)
内腔中部设有用于对清洗机构
(2)
内腔进行清理的除杂机构
(4)
,所述清洗机构
(2)
右端下侧设有用于控制除杂机构
(4)
的传动机构
(5)
;所述清洗机构
(2)
包括蓄水池
(21)
,所述蓄水池
(21)
内腔对称设有两个抽水架
(22)
,两个所述抽水架
(22)
相互靠近的一端上侧均设有若干喷洒头
(23)
,两个所述抽水架
(22)
下端中部均设有若干抽水管
(24)
,两个所述喷洒头
(23)
下端相互靠近的一侧均固定安装有挡料板
(25)。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,其特征在于:所述抽水管
(24)
包括支撑管
(241)
,所述支撑管
(241)
内腔滑动安装有活动管
(242)
,所述活动管
(242)
弧形外表面下侧固定安装有配重块
(243)
,所述活动管
(242)
下端固定安装有过滤管
(244)。3.
根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,其特征在于:所述存放机构
(3)
包括两个气泵
(31)
,两个所述气泵
(31)
分别设于所述蓄水池
(21)
左右两端,两个所述气泵
(31)
前侧均设有支撑架
(32)
,两个所述支撑架
(32)
均滑动安装于所述蓄水池
(21)
端面,两个所述气泵
(31)
输出端分别与两个所述支撑架
(32)
相互连接,两个所述支撑架
(32)
之间转动安装有存料框
(33)
,位于右侧的所述支撑架
(32)
右端下侧设有电机
(34)
,位于右侧的所述支撑架
(32)
内腔中设有两个皮带组
(35)
,两个所述皮带组
(35)
之间设有连接轴
(36)。4.
根据权利要求3所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置,其特征在于:通过所述连接轴
(36)
...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘春峰,刘国华,洪巧水,
申请(专利权)人:荣耀电子材料重庆有限公司,
类型:发明
国别省市:
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