【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。更详 细地说，本专利技术涉及适于形成液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件、有机EL等电子 部件的平坦膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化 膜形成方法。
技术介绍
以往，在液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件、有机EL等电子部件中，当 形成用于赋予电子部件表面以平坦性的平坦膜、用于防止电子部件的劣化或损伤的保护 膜或用于保持绝缘性的层间绝缘膜时，通常使用感光性树脂组合物。例如，TFT型液晶显 示元件如下制造在玻璃基板上设置偏振片，形成IT0等透明导电电路层以及薄膜晶体管 (TFT)，并用层间绝缘膜覆盖，由此形成背面板；另外，在玻璃基板上设置偏振片，根据需要 形成黑色矩阵层和滤色器层的图案，并且进一步依次形成透明导电电路层、层间绝缘膜，由 此形成上面板，将该背面板和上面板隔着间隔物对向设置之后，将液晶封入在两板之间，从 而制成显示元件。其中，作为在形成层间绝缘膜时所使用的感光性树脂组合物，要求其具有 优异的感度、残余膜率、耐热性、粘附性、透明性。此外，还要求该感光性树脂组合物具有保 存时优异的经时稳定性。作为感...
【技术保护点】
一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有（Ａ１）树脂、（Ａ２）聚合物或共聚物和（Ｂ）通过活性光线的照射而产生酸的化合物，所述（Ａ１）树脂含有下述通式（１）所示的结构单元，该树脂为碱不溶性或碱难溶性，并且当酸解离性基团解离时该树脂变为碱溶性，所述（Ａ２）聚合物或共聚物具有由含有能够与羧基反应形成共价键的官能团的自由基聚合性单体衍生得到的结构单元，＊＊＊（１）通式（１）中，Ｒ↑［１］表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基；Ｒ↑［２］和Ｒ↑［３］各自独立地表示氢原子、直链状或支链状的烷基，但是排除Ｒ↑［２］和Ｒ↑［３］同时为氢原子的情况；Ｒ↑［４］表示可被取代的直链状、支链状或环状的...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：泷田敏，安藤豪，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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