感光性树脂组合物和图案形成方法技术

提供一种感光性树脂组合物，其在进行狭缝涂敷后，在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下，干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一，曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物，采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂、以及丙二醇单甲醚乙酸酯（Ａ）与沸点为１４５℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为５０以上的溶剂（Ｂ）的混合溶剂的感光性树脂组合物，将其通过狭缝涂敷法涂敷于基板上，不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行干燥，然后进行曝光、显影，形成抗蚀图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适用于狭缝涂敷的感光性树脂组合物、采用狭缝涂敷法形成抗蚀图案 的方法、以及平板显示器(FPD)用基板的制造方法、由该方法制得的平板显示器用基板和 采用它的平板显示器。
技术介绍
在半导体集成电路元件、固态图像传感器元件、滤色器、以及液晶显示元件(LCD) 和等离子体显示器(PDP)等平板显示器(FPD)的制造过程中，感光性树脂组合物被用于抗 蚀膜、保护膜、使元件表面平坦化的平坦化膜、保持电绝缘的绝缘膜等各种目的。感光性树 脂组合物根据使用目的而涂敷于各种基板上，作为涂敷方法，也已知旋涂法、辊涂法、底涂 法(，> K - 一卜法)、流动展开涂敷法、刮刀涂敷法、浸渍涂敷法、狭缝涂敷法等各种方 法。另外，作为基板，也采用了硅、玻璃、塑料膜等各种基板，例如，在平板显示器的制造时， 基板大多采用玻璃板。 迄今，在液晶显示元件和等离子体显示器等平板显示器(FPD)的制造过程中，广 泛地采用感光性树脂组合物作为光刻胶，在玻璃基板上形成由薄膜晶体管(TFT)构成的驱 动电路等图案，在尺寸较小的FPD的制造过程中，作为涂敷法，通常采用旋涂法。在旋涂法 中，由基板的旋转中心供给感光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其特征在于，在含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感光剂和溶剂的感光性树脂组合物中，上述溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯（Ａ）与沸点为１４５℃以下且乙酸正丁酯蒸发速度为５０以上的溶剂（Ｂ）的混合溶剂组成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：能谷敦子，远山宜亮，
申请(专利权)人：AZ电子材料日本株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]