温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供一种感光性树脂组合物,其在进行狭缝涂敷后,在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下,干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一,曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物,采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感...该专利属于AZ电子材料(日本)株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过AZ电子材料(日本)株式会社授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供一种感光性树脂组合物,其在进行狭缝涂敷后,在不采用减压干燥或真空干燥的方法而进行自然干燥的情况下,干燥时间短、没有涂敷不匀、涂敷膜厚均一,曝光、显影后的抗蚀图案的形状良好。作为感光性树脂组合物,采用含有碱可溶性酚醛树脂、含醌二叠氮基的感...