一种半导体机械手手指调平装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种半导体机械手手指调平装置及方法，其中半导体机械手手指调平装置包括机械手手臂和手指组件，二者之间设置有一个旋转球；还包括有调平螺钉和锁紧顶丝，调平螺钉螺钉头部与相邻的机械手手臂或手指组件之间设置有碟簧；调平螺钉包括有连线构成第一三角形的第一调平螺钉

【技术实现步骤摘要】
一种半导体机械手手指调平装置及方法


[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体地涉及一种半导体机械手手指调平装置及方法
。

技术介绍

[0002]机械手是半导体传输设备中重要的核心零部件，担负着传送晶圆等材料的作用，机械手上直接和晶圆接触的部位为
blade
（用于承托晶圆的片状支撑结构，又称“手指”），该部位的水平度对于传送晶圆的可靠性至关重要，由于整个平台的水平度误差以及机械手安装误差等存在，所以
blade
通常设计为活动件，需要单独安装在机械手
ARM
（又称“机械手手臂”）上，同时需要具有调平功能
。
安装及调平时，机械手手臂与水平面的角度为固定，通过调平功能调整手指用于承托晶圆的上表面至水平
。
[0003]现有的此种结构方案例如申请公开号为
CN114657543A
的中国专利技术专利，其能够完成对
blade
角度的微调，但是在调整时，需要调整四个位置的螺钉
、
楔形块关系，并且四个位置之间容易产生相互干扰，例如在俯仰角度调整好以后，接着调整偏摆角度时，俯仰角度又会产生变化，因此调整过程会较为复杂
、
调整时间较长
。

技术实现思路

[0004]基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种半导体机械手手指调平装置及方法，解决现有技术方案调平难度大
、
效率低的问题，实现能够通过较少的步骤完成快速调平，并且保证手指在运动过程中不抖动
。
[0005]依据本专利技术的技术方案，本专利技术提供了一种半导体机械手手指调平装置，包括有机械手手臂和手指组件，机械手手臂和手指组件叠放设置，机械手手臂和手指组件之间具有间隙，机械手手臂和手指组件之间设置有一个旋转球；还包括有调平螺钉，调平螺钉将机械手手臂和手指组件相连接，调平螺钉的螺钉头部与相邻的机械手手臂或手指组件之间设置有碟簧；调平螺钉包括有第一调平螺钉
、
第二调平螺钉
、
第三调平螺钉，第一调平螺钉
、
第二调平螺钉
、
第三调平螺钉之间的连线构成第一三角形，旋转球位于第一三角形的范围内；还包括有锁紧顶丝，锁紧顶丝由机械手手臂和手指组件二者其中之一穿入至机械手手臂和手指组件之间的间隙内，锁紧顶丝的末端与机械手手臂和手指组件二者其中另一相抵触或相连接；锁紧顶丝包括有第一锁紧顶丝
、
第二锁紧顶丝
、
第三锁紧顶丝，第一锁紧顶丝
、
第二锁紧顶丝
、
第三锁紧顶丝之间的连线构成第二三角形，旋转球位于第二三角形的范围内
。
[0006]优选地，第一调平螺钉和旋转球为沿着手指组件的中轴线设置；第二调平螺钉和第三调平螺钉分别位于手指组件的中轴线的两侧
。
[0007]进一步地，第一锁紧顶丝位于第一调平螺钉旁边朝向旋转球的一侧，第二锁紧顶丝位于第二调平螺钉旁边靠近手指组件的中轴线的一侧，第三锁紧顶丝位于第三调平螺钉旁边靠近手指组件的中轴线的一侧
。
[0008]进一步地，第二调平螺钉
、
第二锁紧顶丝
、
第三锁紧顶丝
、
第三调平螺钉的连线为
直线且垂直于手指组件的中轴线
。
[0009]进一步地，锁紧顶丝的末端为半球形
。
[0010]进一步地，在机械手手臂上开设有第一球面槽，在手指组件上开设有第二球面槽，第一球面槽和第二球面槽开口相对，第一球面槽和第二球面槽均与旋转球相接触
。
[0011]进一步地，手指组件包括有手指
、
手指固定底板和手指固定压板，手指位于手指固定底板和手指固定压板之间，手指
、
手指固定底板和手指固定压板通过手指固定螺钉相连接；手指固定底板和机械手手臂相连接
。
[0012]在一实施例中，机械手手臂和手指组件相叠放设置的部分均为板状；机械手手臂上开设有用于穿入调平螺钉的螺钉光孔，手指组件上开设有用于穿入并螺纹连接调平螺钉的螺钉螺孔；机械手手臂上还开设有用于穿入并螺纹连接锁紧顶丝的顶丝螺孔
。
[0013]进一步地，螺钉光孔朝外的一侧具有碟簧容纳槽，碟簧位于碟簧容纳槽内
。
[0014]依据本专利技术的技术方案，本专利技术还提供一种半导体机械手手指调平方法，采用本专利技术的半导体机械手手指调平装置进行调平，其包括有如下步骤：初始状态为第一锁紧顶丝
、
第二锁紧顶丝
、
第三锁紧顶丝的末端均处于未顶紧状态；步骤
S1
，旋拧调节第一调平螺钉，从而调整手指组件的俯仰角度至水平；步骤
S2
，旋拧调节第一锁紧顶丝，在手指组件的俯仰角度不变的情况下使第一锁紧顶丝顶紧；步骤
S3
，旋拧调节第二调平螺钉和
/
或第三调平螺钉，从而调整手指组件的偏摆角度至水平；步骤
S4
，旋拧调节第二锁紧顶丝以及第三锁紧顶丝，在手指组件的偏摆角度不变的情况下使第二锁紧顶丝以及第三锁紧顶丝顶紧
。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益技术效果如下：
1、
本专利技术的半导体机械手手指调平装置及方法采用具有三个调平螺钉
、
三个锁紧螺丝，以及在中间设置旋转球的方式，解决了现有技术方案采用螺钉调整时相互影响的问题，实现了快速调平手指的效果
。
[0016]2、
本专利技术的半导体机械手手指调平装置及方法中螺钉头部底部设有碟簧，可以保证手指组件能够进行微小的移动调节，并且在调节时调平螺钉的压紧力始终存在
。
[0017]3、
本专利技术的半导体机械手手指调平装置及方法中三个调平螺钉中间位置设有旋转球，在调整任何一个螺钉时手指组件始终在旋转球所限制的平面上变动，换言之是绕旋转球转动，因此配合使用三个调平螺钉即可快速调平手指组件
。
[0018]4、
本专利技术的半导体机械手手指调平装置及方法中优选采用一个调平螺钉调整手指俯仰，另两个调平螺钉调整手指偏摆，两个方向的角度能够分开
、
分别互不影响地进行调平，操作更加简单便捷
。
[0019]5、
本专利技术的半导体机械手手指调平装置及方法采用与调平螺钉相对应的锁紧顶丝，用于锁紧调平螺钉和旋转球等构成的调整机构部分，从而与调平螺钉相配合地同时对手指组件施加向上及向下两方的力，使得手指组件在由机械手手臂带动运动的过程中不会抖动，能够平稳地承托晶圆等材料，保证半导体传输
、
处理过程的稳定
、
高效
。
附图说明
[0020]图1是本专利技术一实施例的机械手手臂和手指组件安装后的结构示意图
。
[0021]图2是图1所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体机械手手指调平装置，其特征在于，包括有机械手手臂（1）和手指组件（2），机械手手臂（1）和手指组件（2）叠放设置，机械手手臂（1）和手指组件（2）之间具有间隙，机械手手臂（1）和手指组件（2）之间设置有一个旋转球（3）；还包括有调平螺钉，调平螺钉将机械手手臂（1）和手指组件（2）相连接，调平螺钉的螺钉头部与相邻的机械手手臂（1）或手指组件（2）之间设置有碟簧（4）；调平螺钉包括有第一调平螺钉（5）
、
第二调平螺钉（6）
、
第三调平螺钉（7），第一调平螺钉（5）
、
第二调平螺钉（6）
、
第三调平螺钉（7）之间的连线构成第一三角形，旋转球（3）位于第一三角形的范围内；还包括有锁紧顶丝，锁紧顶丝由机械手手臂（1）和手指组件（2）二者其中之一穿入至机械手手臂（1）和手指组件（2）之间的间隙内，锁紧顶丝的末端与机械手手臂（1）和手指组件（2）二者其中另一相抵触或相连接；锁紧顶丝包括有第一锁紧顶丝（8）
、
第二锁紧顶丝（9）
、
第三锁紧顶丝（
10
），第一锁紧顶丝（8）
、
第二锁紧顶丝（9）
、
第三锁紧顶丝（
10
）之间的连线构成第二三角形，旋转球（3）位于第二三角形的范围内
。2.
根据权利要求1所述的半导体机械手手指调平装置，其特征在于，第一调平螺钉（5）和旋转球（3）为沿着手指组件（2）的中轴线设置；第二调平螺钉（6）和第三调平螺钉（7）分别位于手指组件（2）的中轴线的两侧
。3.
根据权利要求2所述的半导体机械手手指调平装置，其特征在于，第一锁紧顶丝（8）位于第一调平螺钉（5）旁边朝向旋转球（3）的一侧，第二锁紧顶丝（9）位于第二调平螺钉（6）旁边靠近手指组件（2）的中轴线的一侧，第三锁紧顶丝（
10
）位于第三调平螺钉（7）旁边靠近手指组件（2）的中轴线的一侧
。4.
根据权利要求3所述的半导体机械手手指调平装置，其特征在于，第二调平螺钉（6）
、
第二锁紧顶丝（9）
、
第三锁紧顶丝（
10
）
、
第三调平螺钉（7）的连线为直线且垂直于手指组件（2）的中轴线
。5.
根据权利要求1‑4中任一权利要求所述的半导体机械手手指调平装置，其特征在于，锁紧顶丝的末端为半球形
。6.
根据权利要求1‑4中任一权利要求所述的半导体机械手手指调平装置，其特征在于，在机械手手臂（1）上开设有第一球面槽（
11
），在手指组件（2）上开设有第二球面槽（
12
），第一球面槽（
11
）和第二球面槽（<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王慧锋，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：