一种硅片脱胶工装制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片脱胶工装，包括支撑框、丝杆及固定机构，支撑框的两端分别设有固定机构，丝杆的两端设置于固定机构内，丝杆通过固定机构设置于支撑框内；支撑框包括上支撑杆、下支撑杆、底部支撑杆及安装板，上支撑杆对称设有两个，上支撑杆的下方设置下支撑杆，同侧的上支撑杆和下支撑杆之间对应设有丝杆，丝杆上设有PVA套膜，上支撑杆和下支撑杆的两端分别设有安装板，两安装板之间还固定设有数个底部支撑杆；固定机构包括固定块及螺栓，固定块的一端设有与第一腰型孔相适配的第二腰型孔，固定块的另一端设有凹槽，丝杆的两端设置于固定块的凹槽内；该工装结构简单，降低碎片率，使用方便，适用性强。适用性强。适用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片脱胶工装


[0001]本技术涉及一种脱胶工装，具体涉及一种硅片脱胶工装，属于硅片脱胶


技术介绍

[0002]硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度高的硅片，往往硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗和精细清洗两个部分，而作为第一道清洗工序的脱胶清洗虽然没有切割工艺要求那么高，但也是获得洁净片的重要工序。
[0003]自动脱胶是目前脱胶工艺环节的主要生产方式，其自动化程度高，可控性好，生产效率高，极大地降低了硅片的碎片率，为厂家节约了生产成本。目前市场上国产的全自动硅片脱胶机主要的生产流程是冲洗、超声和加热脱胶，全自动脱胶机在进行脱胶清洗前都需将切割完的硅棒放置在特制的脱胶工装上面，然后在通过机械手实现硅棒在每个工艺槽的生产。不同的厂家针对不同的机械手结构和工艺槽结构会有不同构造的脱胶工装，但基本功能均相同；
[0004]目前脱胶工装基本是实用带齿+脱胶插板来间隔及固定待脱胶的硅片，专利CN203818358U硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装，通过隔板对硅片进行稳固便于脱胶，但是硅片经过脱胶后倾倒至隔板上对硅片造成隐裂损伤，且上隔板费时，挡板也易变形，随着硅片的尺寸的变化该脱胶工装就不再适用，需要更换脱胶工装完成脱胶，成本增加，工艺繁琐，适用性差，因此，研发一种能克服上述缺陷的脱胶工装成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种硅片脱胶工装，该工装结构简单，降低碎片率，使用方便，适用性强。
[0006]为了解决以上技术问题，本技术提供一种硅片脱胶工装，包括支撑框、丝杆及固定机构，支撑框的两端分别设有固定机构，丝杆的两端设置于固定机构内，丝杆通过固定机构设置于支撑框内；
[0007]支撑框包括上支撑杆、下支撑杆、底部支撑杆及安装板，上支撑杆对称设有两个，上支撑杆的下方对应平行设置下支撑杆，同侧的上支撑杆和下支撑杆之间对应设有丝杆，丝杆上套设有PVC发泡管，上支撑杆和下支撑杆的两端分别设有安装板，两安装板之间还固定设有数个底部支撑杆，底部支撑杆位于两下支撑杆之间，安装板的一侧对称设有两第一腰型孔，安装板上通过第一腰型孔连接设置有两固定机构，安装板的一侧上还设有通孔供丝杆的两端穿过设置于固定架构内；
[0008]固定机构包括固定块及螺栓，固定块的一端设有与第一腰型孔相适配的第二腰型孔，第二腰型孔内设有螺栓，第二腰型孔通过螺栓与第一腰型孔连接将固定机构固定在安装板上，固定块的另一端设有凹槽，丝杆的两端设置于固定块的凹槽内。
[0009]本技术进一步限定的技术方案是：
[0010]进一步的，前述硅片脱胶工装中，上支撑杆和下支撑杆之间竖直设有多个加强杆。
[0011]技术效果，多个加强杆的设置加强整整个支撑框的稳定性，不易变形，保证工作的正常运行，也提高强度。
[0012]前述硅片脱胶工装中，凹槽上远离第二腰型孔的一端向上延伸形成挡板。
[0013]技术效果，可能在使用过程中硅片放置时对丝杆有一个向外挤压的力道，丝杆会外移动可能会从凹槽中挤出，通过设置在挤出的方向设置挡板，将丝杆固定在凹槽内，确保丝杆安装到位，稳定在凹槽内，保证工作的正常运行。
[0014]前述硅片脱胶工装中，丝杆的两端分别向外延伸形成固定杆，固定杆与凹槽相适配。
[0015]技术效果，通过固定杆与凹槽相适配，便于卡入，安装拆卸方便。
[0016]前述硅片脱胶工装中，上支撑杆的两端分别设有把手。
[0017]前述硅片脱胶工装中，PVC发泡管的厚度为19
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25mm。
[0018]前述硅片脱胶工装中，上支撑杆、下支撑杆、底部支撑杆及安装板为不锈钢材质。
[0019]技术效果，不锈钢材质保证强度及稳定性。
[0020]前述硅片脱胶工装中，底部支撑杆为不锈钢圆杆，底部支撑杆外套设有硅胶保护套。
[0021]技术效果，对硅片一个软的缓冲，不易破坏硅片，且硅片不会被不锈钢污染，确保其质量。
[0022]前述硅片脱胶工装中，上支撑杆外套设有螺旋保护套。
[0023]前述硅片脱胶工装中，上支撑杆的两端分别设有定位块。
[0024]技术效果，用于导轨定位，运输过程中，晶棒不跑偏，起到保护作用。
[0025]本技术的有益效果是：
[0026]本技术取消了隔板，成本降低，且工艺简单，也避免了硅片脱胶后倾倒碰到隔板造成损伤，本技术通过丝杆上的PVC发泡管对硅片进行夹紧，硅片的表面胶脱完后不会倾斜。胶只在硅片的粘胶面，及硅片出刀口，侧面没有胶所以脱胶后侧面的尺寸不变，PVC发泡管对其夹紧依旧不会倾斜，还有pvc发泡管通过其软度弹性吸水发泡性及固定机构协同作用下实现。
[0027]本技术第二腰型孔内设有螺栓，且设有两螺栓，可以加强固定机构在安装板上的稳定性。
[0028]本技术脱胶工装取消隔板，改造便于夹紧的单晶/多晶硅片脱胶工装，使用可随时调节加紧的部件，通过一定固定块在安装板上的位置来石英硅片的尺寸，在丝杆上PVC套膜的作用下对硅片进行夹紧，不会倾斜，且不同尺寸硅片适用性强。
[0029]本技术夹住硅片简单、方便操作，在安装丝杆时不时焊接或者螺丝等固定方式，直接轻提丝杆放到凹槽限位内推进脱胶机即可，出料后直接搬料即可0碎片，过程0磕碰。
[0030]本技术不需要放置隔板，丝杆的安装手动推入提出即可，降低了不必要的生产损耗，减少了生产成本，提高了生产效率。
[0031]本技术可根据硅片的尺寸调节固定块在安装板上的位置，通过调节螺栓和第
二腰型孔来移动固定块的位置来吻合硅片的尺寸，适用性强，然后将丝杆放置在上支撑杆和下支撑杆之间，通过固定杆将丝杆卡在固定块的凹槽内完成丝杆的安装，拆卸时直接提起固定杆即可完成丝杆的拆卸，使用方便。
附图说明
[0032]图1为本技术实施例硅片脱胶工装的结构示意图；
[0033]图2为图1的主视图；
[0034]图3为图1的侧视图；
[0035]图4为图1中A部分的放大结构示意图；
[0036]图中：1
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支撑框，11
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上支撑杆，12
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下支撑杆，13
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底部支撑杆，14
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安装板，15
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加强杆，16
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把手，2
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丝杆，21
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固定杆，3
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固定块，4
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螺栓，5
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第二腰型孔，6
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凹槽，7
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挡板，8
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定位块。
实施方式实施例
[0037]本实施例提供一种硅片脱胶工装，结构如图1
‑
4所示，包括支撑框1、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片脱胶工装，其特征在于：包括支撑框（1）、丝杆（2）及固定机构，所述支撑框（1）的两端分别设有所述固定机构，所述丝杆（2）的两端设置于所述固定机构内，所述丝杆（2）通过所述固定机构设置于所述支撑框（1）内；所述支撑框（1）包括上支撑杆（11）、下支撑杆（12）、底部支撑杆（13）及安装板（14），所述上支撑杆（11）对称设有两个，所述上支撑杆（11）的下方对应平行设置所述下支撑杆（12），同侧的上支撑杆（11）和下支撑杆（12）之间对应设有所述丝杆（2），所述丝杆（2）上套设有PVC发泡管，所述上支撑杆（11）和下支撑杆（12）的两端分别设有所述安装板（14），两所述安装板（14）之间还固定设有数个所述底部支撑杆（13），所述底部支撑杆（13）位于两所述下支撑杆（12）之间，所述安装板（14）的一侧对称设有两第一腰型孔，所述安装板（14）上通过所述第一腰型孔连接设置有两所述固定机构，所述安装板（14）的一侧上还设有通孔供丝杆（2）的两端穿过设置于所述固定架构内；所述固定机构包括固定块（3）及螺栓（4），所述固定块（3）的一端设有与所述第一腰型孔相适配的第二腰型孔（5），所述第二腰型孔（5）内设有所述螺栓（4），所述第二腰型孔（5）通过螺栓（4）与第一腰型孔连接将固定机构固定在所述安装板（14）上，所述固定块（3）的另...

【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，王艺澄，刘传君，
申请(专利权)人：江苏美科太阳能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：